ROSE - Ibaraki University Academic Repository

水高, 将吾

Mizutaka, Shogo

Japanese

Relation between fractality and degree correlation in complex networks

田代, 優

Tashiro, Suguru

茨城大学・応用理工学野・准教授
科学研究費助成事業　　研究成果報告書
様　式　Ｃ－１９、Ｆ－１９－１、Ｚ－１９ （共通）
機関番号：
研究種目：
課題番号：
研究課題名（和文）
研究代表者
研究課題名（英文）
交付決定額（研究期間全体）：（直接経費）
１２１０１
挑戦的研究（萌芽）
2024～2021
摩擦撹拌接合を用いた異種金属薄板の接合技術に関する検討
Development of bonding technology for thin metal sheets using friction stir 
welding
９０２７２１１１研究者番号：
田代　優（Tashiro, Suguru）
研究期間：
２１Ｋ１８８１１
年 月 日現在  ７   ５ ２９
円     4,900,000
研究成果の概要（和文）：本研究では、電極材料として高信頼・高強度の接合が期待されているCu-Al異種金属
材料について摩擦撹拌接合法を適用するにあたり、その接合メカニズムを解明することを目的としている。その
ため、接合条件と接合部組織の定量的な組織観察結果および粒子法による接合部組織の再現シミュレーション結
果の比較・評価を行い、直接測定が困難な接合部の温度分布や塑性流動を支配する接合パラメータの検討を行っ
た。また接合部の組織観察を行った部分についてビッカース硬さ試験によって機械的強度評価を行い、組織観察
との関係を調べた。その結果、「Cu－Al異材金属材料の基礎的摩擦攪拌接合メカニズムの解明」を目指した。
研究成果の概要（英文）：The purpose of this study is to elucidate the relationship between joining 
conditions and joining mechanism when using the friction stir welding method(FSW) for dissimilar 
metal materials of Cu and Al, which are expected to be joined with high strength as electrode 
materials.　The joining conditions for FSW, the quantitative observation results of the joint 
structure, and the simulation results of the joint structure reproduced using the particle method 
are compared and evaluated.　As a result, the joining parameters governing the temperature 
distribution and plastic flow in the joint, which are difficult to measure directly, are examined.　
Mechanical strength evaluation was performed by Vickers hardness test on the part of the joint where
 the microstructure observation was performed, and the relationship with the microstructure 
observation was examined.　The results of this study aimed to “elucidate the basic friction stir 
welding mechanism of Cu and Al dissimilar metallic materials.
研究分野： 溶接・接合
キーワード： Cu-Al異種金属間接合　摩擦撹拌接　粒子法　金属間化合物相　合金相　回復・再結晶
  ２版
令和
研究成果の学術的意義や社会的意義
摩擦撹拌接合は融点以下の固相接合技術であるため、接合部の変形や歪みを抑制することが可能である。より高
い強度や信頼性を目指すには、接合メカニズムを明らかにする必要がある。そこで、今まで流体系に多く適用さ
れてきた粒子法シミュレーションの手法を金属の塑性流動に応用し、その接合状態と温度分布を明らかにし、定
量的な金属組織観察と比較することで、摩擦撹拌接合を支配する物性値の取得を行い、「Cu－Al異材金属材料の
基礎的摩擦攪拌接合メカニズムの解明」を行った。その結果、詳細な組織観察のデータに裏付けられた摩擦撹拌
接合時の接合温度や塑性流動の様子を粒子法シミュレーションで再現できることが明らかとなった。
※科研費による研究は、研究者の自覚と責任において実施するものです。そのため、研究の実施や研究成果の公表等に
ついては、国の要請等に基づくものではなく、その研究成果に関する見解や責任は、研究者個人に帰属します。
様 式 Ｃ－１９、Ｆ－１９－１（共通） 
 
 
１．研究開始当初の背景 
申請者は、ナノメーターオーダーの銅超微細配線の製造プロセスやパワー半導体実装用のア
ルミニウム銅合金ワイヤの開発に携わってきた。すなわち、銅やアルミニウムの細線化や接合に
ついて研究を行ってきた。一方、アルミニウムや銅は電池電極材料として一般的である。自動車
や航空機では、燃費の向上や低環境負荷のため、その電極の軽量化・高電流密度化が進み、特に
高振動が繰り返される部位においては、その接合部において高接合強度・信頼性を保ちながら薄
肉化が求められている。しかし、その接合時におけるシミュレーション予測と金属組織および機
械強度の関係を定量的に比較した例は極めて少ない。一般に材料加工時における塑性流動をモ
デル化して通常の有限要素法では表現することは極めて困難である。 
そこで、流体や空隙や欠陥等の材料不連続部を含めた接合界面における温度と圧力を予測す
ることが可能な粒子法を摩擦撹拌接合（Friction Stir Welding 以下 FSW と略す）のシミュ
レーションに応用することが出来れば FSW の接合条件、接合部組織および接合強度の相互の関
係を支配する熱や熱に支配される物性値を特定できる可能性があることに着目した。 
 
２．研究の目的 
 本研究では、電池電極として高信頼・高強度の接合が期待されている Cu-Al 異種金属材料の
FSW による接合部組織の定量的な組織観察結果と粒子法による接合部組織の再現シミュレーシ
ョン結果の比較・評価を行い、接合部の温度分布や塑性流動を支配する接合パラメータを明らか
にすることで「Cu－Al 異材金属材料の基礎的摩擦攪拌接合メカニズムの解明」を行う。 
従来、流体に適用されてきた粒子法を拡張し、高粘性流体という概念を溶融する前の金属に適
用することでシミュレーションを行う。この結果と実際に FSW を行って得られる定量的な接合
部の組織観察データ（接合界面長さ、接合界面の状態、結晶粒径およびその分布、欠陥の形態及
び分布）の比較・評価から、測定が困難な物性値を逆問題的に解決する。 
さらに、このようにして得られた物性値等から接合強度の指針となるシミュレーションを具
現化し、接合部の破壊試験を実施しなくても接合部の欠陥や組織の状態や接合強度が推測でき
るようなシステムの構築を行う。 
 
３．研究の方法 
 FSW は、ツールと接合材料との間の摩擦熱により材料を軟化させ、材料の塑性流動によって接
合させる溶接技術である。先端に突起（プローブ）のあるツールを回転させながら接合部に押し
込み、その摩擦熱によって融点以下において軟化した材料を攪拌（塑性流動）接合する手法であ
る。このため、通常の溶融溶接では金属間化合物の発生や溶接部の結晶粒の粗大化のために著し
く機械強度が低下するようなアルミ合金系材料や異種金属材料の高強度・高信頼性の新しい接
合技術として研究が進められている。FSW も通常の溶融溶接も接合時における材料の流動性と温
度分布が接合組織におよぼす影響は大変重要であり、その接合組織の状態が接合強度を大きく
支配している。 
本研究では、FSW の接合のメカニズムの解明を下記の 3 点につ
いて包括的・統合的に行う。図１に本研究の概念図を示す。 
個別の研究課題（1）Cu-Aｌ異種合金の FSW 後の接合部組織の定
量的な観察評価、（2）（1）にて観察を行った接合部の硬さ測定に
よる接合強度測定、（3）塑性流動を考慮したシミュレーションに
よる温度分布、界面近傍不連続性の予測を実施する。 
特に（1）と（3）の比較・評価からシミュレーション精度の向
上を行うとともに、粒子法を用いることで測定困難な材料物性値
（融点以下における金属の粘弾性）を逆問題的に求め、シミュレ  
ーション精度の向上を図る。                     図 1 研究概念図 
 本研究では、冷間圧延を施した 200 × 100 × 2mmt の銅
(C1020,Cu:99.96%)と、同様に冷間圧延を施したアルミニウム
(A1050,Al:99.50%)の板材を使用した。板材をそれぞれ 200mm×70mm
×2mmt に切断し、切断面の凹凸にフライス加工を行って断面を整え
た後、突合せ中心に FSW を施した。接合には日東制機社製 FF-
20IVFSW-IK を用い、ツールの材質は高速度鋼、形状はショルダ部の
直径が 20mm、プローブ部は右ねじで直径が 6mm、長さが 1.8mm のも
のを使用した。接合においては接合組織に及ぼすツール劣化の影響
を最小限に無視するために接合するごとに新しいツールを用いた。
研究に供した試料の外観を図 2のとおり（1）組織観察および（2）
硬さ測定に用いた FSW ツール直下の接合部試料の接合断面図を示
す。 
                               図 2 試料の接合断面図 
４．研究成果 
（1）Cu-Aｌ異種合金の FSW 後の接合部組織の定量的な観察評価結果と（2）硬さ測定結果 
 FSW は被接合材を塑性流動させ融点以下で接合するため、異種金属の接合では、脆い金属間化
合物を作りにくいなどの利点があるが、接合メカニズムは不明な点が多い。接合メカニズムの解
明によって FSW の信頼性向上が期待されるが、FSW の多くの研究は最適な接合条件の探索を目
的としており、接合メカニズムの解明を目的とした研究は少ない。  
本研究では FSW の接合メカニズムについて、Al と Cu の突合せ位置に対してツールのオフ
セット無しで突合せ接合した接合材を対象に、接合時の摩擦熱および塑性流動の挙動と、それら
が接合材の強度と組織へ与える影響を検討した。試料ごとに接合条件を変え、材料の配置やツー
ルの回転数が接合メカニズムに与える影響も検討した。 
① Al の硬さは接合条件、突合せ位置および板厚方向の距離によらず、殆どの測定位置で 30HV 
前後となった。ただし、前進 Al 後退 Cu の 800rpm の母材端付近のみは 30HV 台後半か
ら 40HV 台前半と周囲より硬化し、接合前の母材とほぼ同じ硬さになった。粒径は母材の
長径 8μm 短径 3μm に対し、回転数や突合せ位置からの距離に近づくほど増大する傾向
が見られたが、前進 Al 後退 Cu の 1000rpm の底部など微細化する試料も見られた。粒径
が小さいほど強度が上昇する HP 則が知られているが、硬さは粒径依存性を示さなかった。 
② 硬さが粒径依存性を示さない理由として、純金属の強度は転位密度によって決まり、被接
合材の回復段階での亜結晶粒界の減少による粒成長と転位密度の減少は、強度にほぼ影響
を与えないと考察できた。硬さが一定となる理由は、回復速度は転位密度の減少と共に漸
減し、また、回転数増大で導入される転位の量と高温化に伴う転位の減少が相殺するため
と考えた。前進 Al の 800rpm の試料の硬化領域は、接合に伴う転位密度の増減の収支が
釣り合い、転位密度が接合前とほぼ同じになった領域と考える。 
③ 粒径について前進 Cu 後退 Al の表面では入熱量が少なく、ツール近傍のため 1000rpm で
は粒内のセルが発達することで長径 8μm 短径 4μm を示し、800,900rpm の長径 8μm 短
径 6μm より僅かに微細化すると考えた。前進 Cu 後退 Al の底部はツールから遠いため、
入熱の影響が支配的であり、回転数増大で突合せ位置に近づくほど粒径が長径 14μm 短径 
8μm 程度に増大したと考える。 
④ 前進 Al 後退 Cu の表面は全試料について突合せ位置に近づくほど長径 16μm 短径 10μm 
に増大し、回転数増大で母材端まで粒成長している。前進 Al は後退 Al より塑性流動も
入熱もどちらも激しいが、ツールに近いため入熱による粒成長が支配的になったと考える。
前進 Al 後退 Cu の底部は回転数増大で微細化しており、表面より低温のため流動部の塑
性流動による微細化の影響が大きいと考えられる。 
⑤ 前進 Al の 800rpm と後退 Al の 1000rpm を底部の粒径を比較すると、前進側の方が粒
径微細化の影響が大きいにも関わらず、粒径は前進側の方が大きい。よって試料ごとの Al 
部への摩擦熱の大きさは、前進側は全て後退側より大きく、同じ配置であれば回転数と比
例すると考える。 
「Al-Cu 摩擦撹拌接合材の流動部の形態と接合材メカニズム」では組成流動の影響を反映し
た流動部について、分布、組織形態、硬さ、組成を調査し、接合メカニズムを推測した。流動部
について、突合せ位置付近は Cu を 80%以上含む Cu4Al と Cu からなる黄色の組織と、Cu が 
65-80%程度で Cu4Al9と Cu4Al からなる濃い灰色の組織が見られた。Al の上部には、Cu 濃度が 
1%程度のα相とθ相の混合組織による灰色の筋と、Al の筋からなる流動層が形成され、前進 Cu 
後退 Al の 800,900rpm では突合せ位置付近に流動層が流入した流動部が形成された。突合せ
位置より Al 側には灰色の筋と灰色の粒からなるまだら状の組織が形成された。灰色の粒は偏
光顕微鏡観察では橙色の結晶と緑色の結晶に分けられた。橙色の結晶は Cu 濃度が 35%程度 
で CuAl と CuAl2 が生成し、Al の小片に Cu が拡散し形成されたと考えられ、緑色の結晶は 
Cu 濃度が 50-85%で CuAl、Cu11Al、Cu33Al17、Cu9Al4、Cu4Al、Cu など多くの金属間化合物が生成
し、Cu の小片に Al が拡散した組織と考えられる。 
接合メカニズムについて、前進 Cu 後退 Al では Cu がプローブ前端によって一体的に貫入
することで Al 部の境界にクラックを生じ、プローブが貫入した Cu を削り生じた空隙に表面の
流動層が流入すると推測した。前進 Al 後退 Cu では、プローブ前端で削られた Al と Cu が、
プローブと接合材の間で撹拌され、プローブ後端の回転で Al 側へ流動部の分布が偏ったと考
えた。Cu 側はプローブ径より外側に流動部が存在せず、Al 側は突合せ位置より Al の量が多
いまだら状の組織が形成されるため、Al 側はプローブの右ねじによる縦方向の左回りの流動が 
起きたと考える。 
 
（3）塑性流動を考慮した粒子法シミュレーション（MPS 法）による温度分布、界面近傍不連続
性の予測 
摩擦攪拌接合（FSW：Friction Stir Welding）は、ツールと呼ばれるφ10～20mm 程度の棒状
の工具を高速で回転させながら被接合材料に所定の深さまで挿入し、材料との摩擦熱を利用し
て接合する手法である。実際の実験では接合中のツールの回転による発熱と撹拌を受けて接合
材料が塑性流動する状態を直接観察することは困難である。そこで粒子法の一つである MPS 法
を用いて加工中の金属を高粘性流体の粒子の集合とみなすことにより材料接合時における材料
の流動性と温度分布を粒子法シミュレーションにより可視化した。実際に FSW 接合の実験を行
った際に Cu と Al の界面付近の粒径が斜め方向に延びていることが分かった。またその他に 
Cu と Al の反応相が確認された。結果としては粒子挙動を観察し厚さ方向に上下する粒子が存
在することが判明した。FSW 接合では平面方向の攪拌だけでなく３次元的に攪拌が行われてい
ることが、Cu と Al の界面の粒径が斜め方向に延びていることにつながっていると考えられる。
その他に接合中の粒子の温度履歴を追跡し高温度から急激に冷えていく様子を確認した。この
ことから一度 Cu と Al の共晶温度以上に上がった粒がツールから離れ急激に冷やされること
により、実際の粒は θ 相として Cu と Al の反応相が発生しているのではないかと考察する。 
 
 
以上の研究結果を基に、組織観察および硬さ測定結果および塑性流動を考慮した粒子法シミ
ュレーション（MPS 法）による温度分布、界面近傍不連続性の予測結果の統合を進めており、こ
れらの結果の論文化を進めている。 
５．主な発表論文等
〔雑誌論文〕　計0件
〔学会発表〕　計0件
〔図書〕　計0件
〔産業財産権〕
〔その他〕
－
６．研究組織
７．科研費を使用して開催した国際研究集会
〔国際研究集会〕　計0件
８．本研究に関連して実施した国際共同研究の実施状況
共同研究相手国 相手方研究機関
所属研究機関・部局・職
（機関番号）
氏名
（ローマ字氏名）
（研究者番号）
備考
研
究
分
担
者
永野　隆敏
(Nagano Takatoshi)
(70343621)
茨城大学・応用理工学野・講師
(12101)


Development of bonding technology for thin metal sheets using friction stir welding

甲斐, 教行

Kai, Noriyuki

Iconological Study on Baccio Bandinelli -Graves planned by Clemens VII

山内, 智

Yamauchi, Satoshi

茨城大学・応用理工学野・教授
科学研究費助成事業　　研究成果報告書
様　式　Ｃ－１９、Ｆ－１９－１、Ｚ－１９ （共通）
機関番号：
研究種目：
課題番号：
研究課題名（和文）
研究代表者
研究課題名（英文）
交付決定額（研究期間全体）：（直接経費）
１２１０１
基盤研究(C)（一般）
2024～2022
ヨウ化物を原料とするCVD法による金属薄膜の選択成長
Selective Chemical-Vapor Deposition of Metal Films using Cu-Iodide
３０２９２４７８研究者番号：
山内　智（Yamauchi, Satoshi）
研究期間：
２２Ｋ０４１７８
年 月 日現在  ７   ６ １８
円     3,200,000
研究成果の概要（和文）：ヨウ化銅を昇華させて400℃程度に加熱した基板上へ供給することで金属上へのみ銅
を堆積させることができる選択成長法を用いて、CuとSiO2のライン／スペースパターン上やTaを下地とする浅い
SiO2トレンチパターンおよび底部がRuのSiO2ビアホール上への銅の選択成長形態の調査を実施して、本方法での
Cuの選択成長の完全性を示した。Cuライン上では下地Cu粒上にエピタキシャル状にCuが選択形成し、浅いトレン
チ上では下地Ta上からトレンチ高さの8~10倍程度の高さにはみ出し量10％程度でCuを積み上げることができ、Ru
上のビアホール中では単一Cu粒をボトムアップにボイド無しに形成することができた。
研究成果の概要（英文）：Using a selective growth method that allows copper to be deposited only on 
metal by sublimating copper iodide and supplying it onto a substrate heated to about 400°C, we 
investigated the selective growth morphology of copper on a line/space pattern of Cu and SiO2, a 
shallow SiO2 trench pattern with a Ta substrate, and an SiO2 via hole with a Ru bottom, and 
demonstrated the completeness of the selective growth of Cu with this method. On the Cu lines, Cu 
was selectively formed epitaxially on the underlying Cu grains, and on the shallow trenches, Cu was 
piled up from the underlying Ta to a height of about 8 to 10 times the trench height with an 
overhang of about 10%, and in the via holes on Ru, single Cu grains were formed bottom-up without 
voids.
研究分野： 電子工学、材料工学
キーワード： 選択成長　金属薄膜　化学気相堆積　ヨウ化物
  ２版
令和
研究成果の学術的意義や社会的意義
本課題で実施したヨウ化銅（I)を原料とするCuの選択形成技術は原料昇華時の分子形態と金属表面の自由電子を
利用したもので、これまでの選択形成法の原理と全く異なり、かつ、選択性の完全性が従来の方法に比べて飛躍
的に高く、新しい選択形成技術として高い学術的意義をもつ。本課題で実施したCu上、Ta上、Ru上でのCuの選択
形成結果では、これまで不明であったCu成長形態を支配している要因を明らかにしており、この点でも学術的意
義が高い。また、これまで未達であった単結晶Cuプラグの形成可能性を示している点では、材料変更の分岐点に
立っている現状で、従来用いてきたCuを使用できることを示しており社会的意義が高い。
※科研費による研究は、研究者の自覚と責任において実施するものです。そのため、研究の実施や研究成果の公表等に
ついては、国の要請等に基づくものではなく、その研究成果に関する見解や責任は、研究者個人に帰属します。
様 式 Ｃ－１９、Ｆ－１９－１（共通） 
 
１．研究開始当初の背景 
大規模集積回路（ULSI）の配線工程は銅（Cu）を材料として用い、メッキによる埋め込みと
その後の化学機械研磨（CMP）による加工がなされている。一方、これらの工程での問題を解決
するために、化学気相堆積による Cu の選択形成が研究されていたが、原料の安定性・生産性や 
Cu 堆積の再現性・制御性の問題から 20 年ほど前から研究されなくなっていた。しかしながら、
今後の微細化に伴うCu の埋め込み性の確保や高抵抗率化に対応するための粒径増大を実現する
ために再度化学気相堆積による形成技術の必要性が高まってきている。特に高抵抗率化に対し
ては本質的な抵抗率が高いにも関わらず粒径依存性の小さなRu への材料変更も検討されてきて
おり、プロセスコストの増大を余儀なくされつつあった。 
 
２．研究の目的 
前述の問題に対して本研究では、加工パターンの微細化に対応でき、且つ、粒径制御も可能な
方法として、大気中での安定性に優れかつ安価に製造可能な原料を用いる領域選択形成可能な
化学気相堆積法を提案し、金属ライン／SiO2 スペースや金属層を底部とする SiO2 ビアホールへ
の選択的な Cu の成長を実施して、選択成長や粒径制御に影響を与える要素の調査と制御をおこ
なうことを目的とした。 
 
３．研究の方法 
原料にヨウ化銅（CuI）粉末を用いて真空反応炉中にて 300 ºC 程度で昇華させた。昇華時の分
子形態は面内安定化構造をとる正三角形に近い六員環構造であることは以前に示されている[1]。
昇華速度は原料を充填したるつぼの調温のみであるために、るつぼ材を PBN 製とし、るつぼ構
造と温度分布を設計して昇華速度誤差を 5％以下にした。基板は SUS 製ホルダーに装填して、
ホルダー裏面への赤外線照射により温度誤差 2 ºC 程度で所望の温度に調整した。銅の成長はゲ
ストガスを用いずに 1~3 Pa 程度の真空中でおこなうため、技術的には真空蒸着法に近い低圧化
学気相堆積法である。 
 Cu を堆積させるための基板には金属ブランケットに加えて、CMP 加工した 1 m ピッチと 0.5 
m ピッチの Cu-line／SiO2-space パターン、Ta 上に形成した高さ 50 nm 程度で 1 m ピッチの
SiO2トレンチパターン、および、Ru を下地とする高さ 2.3 m で開口径が 3 m のビアホールを
用いた。 
 
４．研究成果 
(1) Cu-line/SiO2-space 上への Cu の選択形成 
 図１は Ta をバリアメタルとした 1 m ピッチト
レンチにメッキにより Cu を充填して CMP 加工し
た Cu-line/SiO2-space 上へ、本研究課題で用いる成長
法を用いて 380 ºC で 100 nm 程度 Cu を堆積させた
後の SEM 像と EDS による Cu 元素マッピング結果
である。この結果から明らかなように、金属である
Cu 上へのみ Cu が選択的に成長して SiO2 上へは全
く Cu の成長が見られないことより、本方法による
完全性の高い選択成長が実現できることが明らか
となった。ただし、Cu 成長後の表面粗さ Ra が図２
に示すように堆積した Cu の高さに依存して大きく
なる（Ra は共焦点型レーザ顕微鏡の結果より算
出）。この表面粗さは、図２中の●で示すように基
板表面をあらかじめ IPA（２プロパノール）で装置
内 200 ºC 程度で還元処理して line 中の Cu 粗大化時
の表面平坦性を改善することができることから、Cu
粗大化後に CMP 加工して選択成長させることで低
減できる。ただし、断面 SEM 像から基板の Cu-line
中の Cu 粒上に沿った成長が確認されており、堆積
Cu 高さの増加による Ra の増加は、Cu-line 中の Cu
粒の配向性に起因するもので、メッキ埋め込み Cu
を粗大化した表面を下地とする場合は、平坦性を維持しながら Cu を成長させることが難しく、
本方法はトレンチ内への選択的 Cu 成長として有効であり、その後の CMP が必要であると考え
られる。なお、これらの結果は 0.5 m ピッチでも同様であり、パターンサイズによらず完全性
の高い Cu の選択成長が実現できている。 
 
(2) Ta 上 SiO2の浅いトレンチ上への Cu の選択形成 
 本方法は、金属表面の自由電子と (CuI)3中の Cu とのクーロン引力を選択吸着に用いるために
図１ Cu 選択成長後の表面 SEM 像（左図）
と Cu 元素の EDS マッピング像（右図） 
図２ 表面粗さ Ra の堆積 Cu 高さ依存性
（●直接成長、●IPA 処理後成長） 
金属表面が酸化していると選択成長が不可能になる。Ta は Cu に対して良好な拡散バリア性を有
することが広く知られているが、Ta-O の結合解離エネルギーが 800 kJ/mol と非常に高く Si-O に
匹敵する程である。しかしながら本研究では、金属 Ta 表面が大気中では Ta-O では無く Ta-OH-
Ta であり、真空中の比較的低温（300 ºC 程度）でも部分的に金属状 Ta に還元可能であることを
blanket-Ta 表面の XPS 分析により見出した。図３はスパッタ形成した Ta を大気中に長時間放置
後（下図）と真空中 350 ºC で 30 分間加熱後（上図）の XPS O1 スペクトルで真空加熱により Ta-
OH が著しく減少して Ta-O ピークが増加している。一方、図４のように Ta4f スペクトルでは加
熱前に Ta5+強度が非常に強いが加熱後ではその強度は減少して Ta0の強度が最も強くなる。これ
らの結果と分子軌道計算の結果、大気放置された Ta 表面から真空熱処理時での現象は以下であ
ることが明らかとなった。 
2 + 94 / → 2 + + ↑ 
この結果から、真空中での比較的低温で Ta 表面が部分的に金属状 Ta に還元されることになり、
本方法の適用可能性が示唆された。 
 図５は Ta を底部とする 50 nm の高さの SiO2 トレンチ上に 370 ºC で Cu を形成した後の表面
SEM 像（(a)Cu 高さ 100 nm、(b)Cu 高さ 400 nm）であり、成長初期には Ta 上に離散的 Cu が選
択的に形成され、Cu 粒の融合を経て成長することが示された。Ta 上の Cu の被覆率と SiO2上へ
のはみ出し量の Cu 高さ依存性は図６のようになり、Ta 幅に対して半分の 0.5 m 程度まではは
み出し量 10%程度で Cu 形成ができることが明らかとなった。なお、0.5 m の Cu 高さは SiO2ト
レンチ高さの 10 倍程度になっていることから見て Cu 成長の縦方向への選択性が高いことがわ
かり、本成長方法を用いた選択的積み上げ配線形成の可能性が示された。ただし、Cu-line 中に
形成されるクレバスについてはその形成過程に未脱離ヨウ素の関与が考えられ、より詳細な検
討を要する。また、積み上げ方式での Cu 成長で更にアスペクト比を高くするためには、Cu（111）
の優先配向が必須であり、下地金属の選定とその表面処理法が重要であることを明らかにした。 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
(3) SiO2ビアホールへの Cu の選択埋め込み 
 Ru(0001)を下地とする SiO2 ビアホールの形成は、Ru と TEOS-SiO2 の低い密着性のために
TEOS-SiO2/Ti/Ru/Ti/Themal-SiO2/Si の積層構造を用いて RIE にてビアホール形成の際に Ru 上の
Ti まで除去している。形成したビアホールの開口径は 3 m で SiO2高さは 2.3 m である。本成
長方法は前述の(2)でも示したように金属表面状態に敏感なためにエッチング残渣の除去を十分
に行い、且つ、成長直前には底部の Ru 表面を前述(1)での Cu 表面の還元に用いたプロセスを適
用した。図７は、本方法により Cu を成長させた試料の断面 SEM 像である。これより、底部 Ru
からボイドの形成無く、ボトムアップに Cu が形成され、且つ、単一粒子により埋め込まれるこ
とが明らかとなった。ここで、形成した Cu は<111>単一配向しており、Ru(0001)膜が Cu(111)成
長に適していることを示した。また、このような Cu の埋め込み機構には、Ru 上での Cu 初期成
図３ 真空熱処理前後での XPS
の O1s スペクトル 
図４ 真空熱処理前後での XPS
の Ta4f スペクトル 
(a) (b)
図５ Ta を下地とする浅いトレンチ
上に Cu を形成した後の SEM 像（(a)Cu
高さ 100 nm、(b)Cu 高さ 400 nm） 
図６ Ta を下地とする浅いトレンチ
上に堆積した Cu 高さに対する SiO2上
へのはみ出し量と Ta 表面の被覆率 
長形態が強く関与しており、Ru 表面の活性化による Cu 核密度の増加と Cu 表面の平坦化が重要
である。すなわち、Cu 表面エネルギーより大きな Ru 表面エネルギーを利用して、Cu 成長初期
段階で平坦な Cu 島を形成し、Cu 島の融合時にいかに薄い Cu 単一層をビア底部全体に広げるこ
とができるかが、単結晶 Cu プラグを形成するための必須要素である。この機構は、ビアホール
径の減少に伴い有効になることから、更に小さな開口径ビアホールでの埋め込みで有利であり、
今後、現在のデバイスでのビアホールサイズ（~100 nm 程度）で検証する意義が非常に高いこと
が示唆された。 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
＜引用文献＞ 
[1] T. E. Joyce and E. J. Rolinski, “A Mass Spectrometric Study of the Vaporization of Cuprous Iodide”, J. 
Phys. Chem., Vol. 76, No. 16 (1973) pp. 2310-2316. 
 
図７ Ru を下地とするビアホールに Cu 埋め込みをおこなった試料の断面 SEM 像 
５．主な発表論文等
〔雑誌論文〕　計2件（うち査読付論文　2件／うち国際共著　0件／うちオープンアクセス　0件）
2024年
2023年
〔学会発表〕　計12件（うち招待講演　1件／うち国際学会　4件）
2025年
2025年
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ３．学会等名
 ３．学会等名
宮本 裕; 山内 智
難波 拓生; 宮本 裕; 山内 智
 １．発表者名
 １．発表者名
 ４．発表年
 ４．発表年
オープンアクセスではない、又はオープンアクセスが困難 －
CuIを原料とする選択CVD法によるShallow-trench上へのCu成長
ヨウ化銅（I）を原料とするCVD法によるビアホールの選択埋め込み
第72回応用物理学会春季学術講演会
第72回応用物理学会春季学術講演会
10.35848/1347-4065/acc257
 ３．雑誌名  ６．最初と最後の頁
有
 オープンアクセス  国際共著
 ２．論文標題  ５．発行年
Study of Cu-growth feature by selective low-pressure chemical vapor deposition using a CuI
precursor
Japanese Journal of Applied Physics SH1002-1-5
 掲載論文のDOI（デジタルオブジェクト識別子）  査読の有無
 オープンアクセス  国際共著
オープンアクセスではない、又はオープンアクセスが困難 －
 ４．巻
Gento Toyoda, Hikari Kikuchi, Satoshi Yamauchi, Tatsuya Joutsuka, Takashi Fuse, Yusuke Kubota 62
 １．著者名
Selective Cu growth on fine structures using a Cu-iodide precursor
Japanese Journal of Applied Physics 06SP08-1~5
 掲載論文のDOI（デジタルオブジェクト識別子）  査読の有無
10.35848/1347-4065/ad455c
 ３．雑誌名  ６．最初と最後の頁
有
 ４．巻
Gento Toyoda, Takashi Fuse and Satoshi Yamauchi 63
 １．著者名
 ２．論文標題  ５．発行年
2024年
2024年
2024年
2023年
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ２．発表標題
第85回応用物理学会秋季学術講演会
第71回 応用物理学会 春季学術講演会
European Materials Research Society, Fall-Meeting 2023（国際学会）
 ３．学会等名
 ３．学会等名
 ３．学会等名
 ３．学会等名
Yu Miyamoto; Satoshi Yamauchi
宮本 裕; 山内 智
宮本 裕; 豊田 絃人; 山内 智
Gento Toyoda, Satoshi Yamauchi
 １．発表者名
 １．発表者名
 １．発表者名
 １．発表者名
 ４．発表年
 ４．発表年
 ４．発表年
 ４．発表年
CuIを原料とするLPCVD法によるL/S上へのCu選択成長
Selective chemical vapor deposition of Cu using CuI-precursor for fine structured Metallization
Study of chemical vapor deposition of Cu using CuI on Ta
ヨウ化銅（I）を原料とする CVD 法による Ta 上への Cu 堆積
Advanced Metallization Conference 2024 33rd Asian Session（国際学会）
2023年
2023年
2022年
2022年
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ２．発表標題
Advanced Metallization Conference 2023 32nd Asian Session（国際学会）
第71回応用物理学会春季学術講演会
第83回応用物理学会秋季学術講演会
 ３．学会等名
 ３．学会等名
 ３．学会等名
 ３．学会等名
ADMETA-plus2022（国際学会）
 ２．発表標題
豊田絃人，山内智
Gento Toyoda, Satoshi Yamauchi, Takashi Fuse, Yusuke Kubota
Gento Toyoda, Satoshi Yamauchi
宮本 裕、豊田 絃人、山内 智
 ４．発表年
 １．発表者名
 ４．発表年
 ４．発表年
Selective chemical vapor deposition of Cu using CuI on fine-structure
CuIを原料とするLPCVD法によるL/S上へのCu選択成長
ヨウ化銅(Ⅰ)を用いた選択CVD法による低抵抗率な銅層の形成
A study of Cu-growth feature by selective-LPCVD using CuI-precursor
 ４．発表年
 １．発表者名
 １．発表者名
 １．発表者名
2022年
2022年
〔図書〕　計0件
〔産業財産権〕
〔その他〕
６．研究組織
７．科研費を使用して開催した国際研究集会
〔国際研究集会〕　計0件
 ２．発表標題
茨城大学 研究者情報総覧 
https://info.ibaraki.ac.jp/Profiles/5/0000412/profile.html
所属研究機関・部局・職
（機関番号）
氏名
（ローマ字氏名）
（研究者番号）
備考
第30回電気学会茨城支所研究発表会
 ３．学会等名
 ３．学会等名
ハロゲン利用ミニシンポジウム（招待講演）
 ２．発表標題
山内智
豊田絃人、山内智
 １．発表者名
 １．発表者名
 ４．発表年
 ４．発表年
金属ハライドを原料とした金属薄膜の気相選択形成
二段階成長による選択LPCVD-Cuの成長形態の制御
８．本研究に関連して実施した国際共同研究の実施状況
共同研究相手国 相手方研究機関


Selective Chemical-Vapor Deposition of Metal Films using Cu-Iodide

野田, 悟子

Noda, Satoko

茨城大学・基礎自然科学野・教授
科学研究費助成事業　　研究成果報告書
様　式　Ｃ－１９、Ｆ－１９－１、Ｚ－１９ （共通）
機関番号：
研究種目：
課題番号：
研究課題名（和文）
研究代表者
研究課題名（英文）
交付決定額（研究期間全体）：（直接経費）
１２１０１
基盤研究(B)（一般）
2024～2022
シロアリ共生系を支える微生物相互作用の解明
Host specificity of lactic acid bacteria in the termite gut.
８０３４２８３０研究者番号：
野田　悟子（Noda, Satoko）
研究期間：
２２Ｈ０２４７３・２３Ｋ２３７３８
年 月 日現在  ７   ６   ６
円    13,600,000
研究成果の概要（和文）：シロアリ腸内共生系を対象として、乳酸菌が共生微生物群集に及ぼす影響を解析し
た。日本に生息するシロアリ各種を対象とし、乳酸菌の検出と定量を行った。その結果、ヤマトシロアリから単
離されたLactococcus reticulitermitisはほとんどのヤマトシロアリのコロニーから検出されたが他属のシロア
リからは検出されなかった。また、シロアリから単離した乳酸菌のゲノム情報と系統学的解析から、
Lactococcus属を再分類して新属新種を提案した。他宿主種から単離した乳酸菌をシロアリに経口摂取させて経
時的に検出を行い、定着性や腸内細菌叢の変化を解析した。
研究成果の概要（英文）：Lactic acid bacteria can be found in a variety of habitats, including dairy 
products, milk and the digestive tracts of animals. Members of the genus Lactococcus have a diverse 
host range, which includes insects. The effect of Lactococcus species derived from different hosts 
on the microbial community of the termite gut was analyzed. Lactococcus reticulitermitis, which was 
isolated from the termite Reticulitermes speratus, was detected in most colonies of this native 
termite species, but not in other host genera. Based on genomic information and phylogenetic 
analysis of Lactococcus spp. isolated from termites, we proposed the reclassification of this genus.
 The Lactococcus strain that isolated from other host termite species was fed to termites and 
detected by qPCR. These results suggested that the symbiotic relationships were tight between host 
and Lactococcus strain.
研究分野： 微生物生態学
キーワード： 乳酸菌　シロアリ　共生微生物
  ２版
令和
研究成果の学術的意義や社会的意義
ヒトの健康増進に対する乳酸菌の機能については多くの研究例があり、乳製品製造をはじめとして様々な応用分
野で広く利用されている。しかし、ヒト以外の動物に対する乳酸菌の作用や複合微生物系の相互作用などについ
ての知見は乏しい。本研究は外来微生物が難培養性の微生物群集に与える影響を解析するという学術的意義を持
つ。
さらに、本研究の成果の一部として、シロアリから分離した乳酸菌株について新種記載を行い、産業応用されて
いる株を含むLactococcus属の再分類を提案した。乳酸菌は有用形質のスクリーニング用菌株の需要が高まって
いるが、新規有用菌株の候補の拡充という面からの意義も大きい。
※科研費による研究は、研究者の自覚と責任において実施するものです。そのため、研究の実施や研究成果の公表等に
ついては、国の要請等に基づくものではなく、その研究成果に関する見解や責任は、研究者個人に帰属します。
様 式 Ｃ－１９、Ｆ－１９－１（共通） 
 
１．研究開始当初の背景 
シロアリは 2600 もの種数を擁する多様性の⾼い昆⾍であり、特に熱帯・亜熱帯地域でのバイ
オマスは⾮常に⼤きい。このような⽣物学的成功をもたらした要因の⼀つとして、難培養性の原
⽣⽣物や細菌、古細菌などの多様な消化管内微⽣物との共⽣が挙げられる。シロアリ⾃⾝は⽊質
資源を効率的に分解・消化することはできないが、共⽣微⽣物を獲得したことで多くの動物には
利⽤困難な植物遺体という餌資源を独占的に利⽤し繁栄することが可能になった。 
⼀般的なシロアリ腸内には数種から 20 種以上の原⽣⽣物や多様な原核⽣物が棲息し、⽊質の
分解をはじめとする様々な役割を果たしている。これまでの研究により、シロアリの共⽣原⽣⽣
物やその細胞内共⽣細菌は、シロアリの共通祖先から引き継がれ、宿主と共種分化してきたこと
が明らかになっている。しかし、シロアリ共⽣微⽣物はほとんどが培養の難しい未培養種であり、
系統関係以外の情報は乏しい。⼀⽅、シロアリ共⽣細菌を培養すると、幅広い宿主種から共通し
て乳酸菌類が優占して分離されることが報告されている。 
乳酸菌は糖から乳酸を⽣成する細菌の総称で、動物の消化管やミルク、活性汚泥などの様々
な環境から分離されている。代表的な乳酸菌である Lactobacillus 属や Streptococcus 属は発酵
乳製品製造にも⽤いられている。乳酸菌によるヒトの健康増進機能については多くの研究があ
り、ヒトの免疫活性化作⽤を有する株も報告されている。また⼀部の昆⾍では、腸内の優占細菌
である Lactobacillus 属乳酸菌が宿主の⾏動に与える影響などが報告されている。⼀⽅で、複雑
な腸内細菌叢を保有するシロアリ共⽣系において乳酸菌の多様性やその役割はほとんど知⾒が
ない。 
 
２．研究の目的 
シロアリ腸内の⼤型の原⽣⽣物の細胞内には Treponema や Endomicrobium などの細菌が⾼
密度に共⽣していることが報告されている。シロアリの腸内には数多くの⾃由遊泳型の細菌種
も存在するが、原⽣⽣物の細胞内外の共⽣細菌と⽐較するとこれらの知⾒は⾮常に限られてい
る。また、シロアリ共⽣細菌を単離・培養すると幅広い宿主種から共通して乳酸菌類が優占して
分離されることが報告されており、申請者らもこれまでに数種のシロアリ腸内から Lactococcus
属乳酸菌を複数種単離している。また、同じ宿主種から再現性良く共通した乳酸菌が分離される
ことから、乳酸菌が共⽣系に重要な役割を果たしていることが推定される。しかし、昆⾍腸内の
乳酸菌と腸内微⽣物群集との相互作⽤に関する知⾒は⾮常に乏しい。 
これまでの知⾒から、シロアリ腸内では共⽣
微⽣物間の相互作⽤が、共⽣系全体の代謝活性
を向上させることが⽰唆されている。例えば、
シロアリ共⽣原⽣⽣物がセルロースの分解過程
で産⽣する⽔素と⼆酸化炭素から、細胞内共⽣
細菌が還元的酢酸⽣成により宿主シロアリがエ
ネルギー源として代謝利⽤できる酢酸に変換す
ることを報告している(図 1 )。この還元的酢酸
⽣成反応を担う共⽣細菌は⽣育に葉酸を必要と 
するが、その供給源として乳酸菌の⼀種である  
Lactococcus 属が候補の⼀つとして考えられている。ヒトの腸内において乳酸菌は糖類を代謝し
て乳酸を産⽣し、乳酸が他の細菌により代謝されて酢酸やプロピオン酸などの短鎖脂肪酸に誘
導される。これらの有機酸は腸内に侵⼊した⾮共⽣菌の代謝を阻害し、抗菌作⽤を⽰す。シロア
リ腸内でも乳酸菌を起点とした微⽣物間相互作⽤が機能している可能性が推定される。そこで
本研究では、シロアリ腸内乳酸菌種の多様性を明らかにし、宿主ならびに共⽣微⽣物間の相互作
⽤と機能発現に与える因⼦等を考察して、複合⽣物系の成り⽴ちを理解することを試みる。 
 
シロアリ腸内
セルロース
分解
酢酸
H2
CO2糖
窒素固定
アンモニア
アミノ酸・ビタミン
酢酸木材（セルロース）
空気中の窒素
細胞内共生細菌
原生生物
? ?
?
?
?
図3 シロアリ腸内共生系のモデル
原生生物の細胞内外には細菌などが共生しており多重共生系を構築してい
る。ゲノム解析などにより、一部の共生細菌の機能は推定されているが、自
由生活型の細菌間の相互作用は不明な点が多い。
図 1 シロアリ腸内共⽣系のモデル 
３．研究の方法 
これまでに単離した菌株に加え、新たな乳酸菌の分離を試みた。既に乳酸菌が単離されている
ヤマトシロアリ属の各種や分離例が報告されていないレイビシロアリ科などを分離源として、
培養を⾏った。⽇本国内に⽣息するヤマトシロアリ属 5 種と外来種のネバダオオシロアリの腸
内懸濁液を乳酸菌⽤培地に塗布して嫌気条件下で培養し、⽣育したコロニーを単離した。単離株
は 16S rRNA遺伝⼦配列の解析を⾏い、新種候補株については⽣育可能温度や⽣育可能 pHなど
の条件や炭⽔化物資化性試験、酵素活性試験、菌体脂肪酸分析を⾏い、既知種との⽐較を⾏った。
ドラフトゲノム配列を決定し、細菌のドメイン全体に普遍的に存在するシングルコピー遺伝⼦
（コア遺伝⼦）を⽤いた系統解析を⾏った。 
⽇本各地からサンプリングしたシロアリの腸内細菌組成を次世代シーケンサーを⽤いて解析
し、シロアリ種間や⽣息地域間の違いを解析した。さらに、定量 PCR 法を⽤いた検出により、
シロアリ腸内に⽣息する Lactococcus 属細菌の宿主特異性を調査した。 
 
４．研究成果 
シロアリ腸内乳酸菌種の多様性 
分離株の 16S rRNA遺伝⼦配列を解析したと
ころ、ヤマトシロアリ属 5 種から 5 種、ネバ
ダオオシロアリから１種の Lactococcus 属乳
酸菌が分離された。ヤエヤマシロアリから単離
し た RyT2 株 は 、最近縁種 で あ る L. 
chungangensis と 16S rRNA遺伝⼦配列の相同
性が同種の基準とされる 98.6%よりも低く、
新種の可能性が考えられた。また、ドラフトゲ
ノムを決定して解析を⾏い、G＋C含量の推定
と系統マーカー遺伝⼦を⽤いたゲノム系統学
的解析を⾏った。16S rRNA遺伝⼦配列とゲノ
ム配列に基づく系統樹で Lactococcus 属は 2 つ
のクラスターを形成し、単系統群を形成しなか
った。さらに、クラスター間の 16S rRNA遺伝
⼦配列の相同性やゲノムの平均塩基相同性、平 
均アミノ酸相同性は、同属の基準とされる値より 
も低かったことから、２つのクラスター間には系 
統的に⼤きな差があると考えられた。これらの結果から、本研究で synonym と結論づけた 1種
を除く既知種 25種のうち L. lactis を含む 15種は Lactococcus 属とし、ヤマトシロアリ属から
単離された L. reticulitermitis と RyT2 株を含むクラスターを新属として提案した(図 2)。 
また、単離株のゲノム配列から遺伝⼦アノテーションを⾏い、ビタミンなどの合成経路を推定
した。 
次に⽇本各地からサンプリングした各種シロアリの約 90コロニーについて、次世代シーケン
サーを⽤いた腸内細菌叢解析を実施した。解析の結果から、シロアリ腸内細菌群集は宿主の系
統に強く影響を受けるが、⼀部の島嶼個体群は他の同種コロニーとは類似性の低い細菌叢を持
つ場合があったことから、地理的隔離も細菌叢の形成に影響すると考えられた。また、ほとん
どの宿主コロニーから Lactococcus 属細菌が検出された。そのうち、ヤマトシロアリ属からの
み検出されるOTUが検出されたことから、宿主種に特異的な Lactococcus 属細菌が共⽣する
ことが⽰唆された。次いで、ヤマトシロアリ腸内から単離された L. reticulitermitis の宿主特異
性と存在⽐率を定量PCR法を⽤いて調査した。本種は存在⽐は低いもののヤマトシロアリに
広く分布し、その相対存在⽐に地域間で差は⾒られなかった。以上の結果から、乳酸菌は広範
なシロアリ種に広く共⽣し、乳酸菌を含む共⽣細菌叢は宿主の系統の影響を強く受けるが、⼀
部は⽔平伝播によって獲得される可能性が考えられた。 
Lactovum miscens
0.2
0.2
Lactococcus paracarnosus
Lactococcus allomyrinae
Lactococcus lactis
Lactococcus cremoris
Lactococcus kimchii
Lactococcus taiwanensis
Lactococcus protaetiae
Lactococcus hircilactis
Lactococcus nasutitermitis
Lactococcus fujiensis
Lactococcus petauri
Lactococcus garvieae
Lactococcus formosensis
Lactococcus muris
Lactococcus ileimucosae
Lactococcus termiticola
Lactococcus hodotermopsidis
Lactococcus insecticola
Lactococcus raffinolactis
Lactococcus laudensis
Lactococcus chungangensis
Lactococcus reticulitermitis
Enterococcus faecalis Lactobacillus delbrueckii
Streptococcus pyogenes
Floricoccus  penangensis
Lactococcus plantarum
Lactococcus piscium
Lactococcus carnosus
Strain RyT2
Strain OfM1
Strain OfM2 
100
Lactococcus
新
属
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
99
100
Streptococcus parasuis
Floricoccus tropicus 
100
図 2 コア遺伝子に基づく系統樹 
太字はシロアリから単離された株 
５．主な発表論文等
〔雑誌論文〕　計2件（うち査読付論文　2件／うち国際共著　1件／うちオープンアクセス　1件）
2023年
2025年
〔学会発表〕　計10件（うち招待講演　0件／うち国際学会　0件）
2023年
2023年
 ２．発表標題
 ２．発表標題
日本微生物資源学会
日本微生物資源学会
 ３．学会等名
 ３．学会等名
阿部晃大, 久富敦, 坂本光央, 大熊盛也, 野田悟子
 １．発表者名
 １．発表者名
オープンアクセスとしている（また、その予定である） －
タイワンシロアリから単離したLactovum属の新種
ヤエヤマシロアリから単離した新種候補株の記載とLactococcus属の分類学的検討
 ４．発表年
 ４．発表年
今川祐美子, 久富敦, 坂本光央, 大熊盛也, 野田悟子
10.1099/ijsem.0.006803
 ３．雑誌名  ６．最初と最後の頁
有
 オープンアクセス  国際共著
 ５．発行年 ２．論文標題
Genome-based reclassification of the genus Lactococcus and two novel species Pseudolactococcus
yaeyamensis gen. nov., sp. nov. and Lactovum odontotermitis sp. nov. isolated from the gut of
termites
Int. J. Syst. Evol. Microbiol. 6803
 掲載論文のDOI（デジタルオブジェクト識別子）  査読の有無
 オープンアクセス  国際共著
オープンアクセスではない、又はオープンアクセスが困難 該当する
 ４．巻
K. Abe, M. Yuki, Y. Imagawa, A. Hisatomi, M. Ohkuma, M. Sakamoto, S. Noda, 75
 １．著者名
Molecular phylogeny of Spirotrichonymphea (Parabasalia) with emphasis on Spironympha,
Spirotrichonympha, and three new genera Pseudospironympha, Nanospironympha, and Brugerollina
J. Eukaryot. Microbiol. e12967
 掲載論文のDOI（デジタルオブジェクト識別子）  査読の有無
10.1111/jeu.12967
 ３．雑誌名  ６．最初と最後の頁
有
 ４．巻
S. Noda, O. Kitade, D. E. Jasso-Selles, S. J. Taerum, M. Takayanagi, R. Radek, N. Lo,  M.
Ohkuma, G. H. Gile
70
 １．著者名
 ２．論文標題  ５．発行年
2023年
2022年
2022年
2022年
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ２．発表標題
日本微生物生態学会
日本微生物生態学会
日本原生生物学会
日本原生生物学会
 ３．学会等名
 ３．学会等名
 ３．学会等名
 ３．学会等名
阿部晃大, 雪真弘, 清水美智留, 大熊盛也, 野田悟子
阿部 晃大, 大熊 盛也, 野田 悟子
北出 理, 野田 悟子
野田 悟子,  Gillian Gile,  大熊 盛也,  北出 理
 １．発表者名
 １．発表者名
 １．発表者名
 １．発表者名
 ４．発表年
 ４．発表年
 ４．発表年
倍加した鞭毛系をもつトリコモナス類 Trichomitopsis sp. の形態と進化的意義
シロアリに共生するSpirotrichonymphea綱原生生物の分類学的検討
シロアリ腸内における乳酸菌の多様性と宿主特異性
シロアリ腸内からの新規乳酸菌の分離と生理学的性質の解析
 ４．発表年
2024年
2024年
2024年
2024年
日本原生生物学会
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ２．発表標題
 ３．学会等名
日本微生物生態学会
日本微生物生態学会
日本原生生物学会
阿部 晃大, 清水 美智留, 雪 真弘, 徳田岳, 大熊 盛也, 野田 悟子
 ４．発表年
 １．発表者名
 １．発表者名
 １．発表者名
 ４．発表年
 ４．発表年
 ４．発表年
松尾 恵里子, 飯田 敏也, 雪 真弘, 野田 悟子, 大熊 盛也
野田 悟子, 清水美智留, 大熊 盛也, 北出 理
 ３．学会等名
 ３．学会等名
シロアリの共生細菌の多様性と乳酸菌の定量的検出
モンツキダニ科ササラダニ類を分離源とした新規細菌の分離と解析
沖縄県で採集したミヤタケシロアリの共生原生生物組成
ヤマトシロアリの異なる個体群間の交雑と共生原生生物の継承
 １．発表者名
北出理, 野田悟子, 大熊盛也
 ３．学会等名
 ２．発表標題
〔図書〕　計2件
2023年
2023年
〔産業財産権〕
〔その他〕
－
６．研究組織
７．科研費を使用して開催した国際研究集会
〔国際研究集会〕　計0件
８．本研究に関連して実施した国際共同研究の実施状況
所属研究機関・部局・職
（機関番号）
氏名
（ローマ字氏名）
（研究者番号）
備考
共同研究相手国 相手方研究機関
 １．著者名
 １．著者名
 ４．発行年
 ４．発行年
野田 悟子, 北出 理
北出 理, 野田 悟子, 雪吹 直史
 ２．出版社
朝倉書店 446
 ３．書名
 ３．書名
“シロアリ腸内原生生物” 原生生物学辞典
“パラバサリア” 原生生物学辞典
 ５．総ページ数
 ５．総ページ数 ２．出版社
朝倉書店 446


シロアリ共生系を支える微生物相互作用の解明

茨城大学博士（理学）doctoral thesi

山口, 哲志

Yamaguchi, Satoshi

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
論文内容の要旨 
 
氏   名    山口哲志 
学位の種類    博士（理学） 
学位記番号    博理工第７５８号 
学位授与年月日  令和７年６月３０日 
学位授与の要件  学位規則第５条第１項該当 
学位論文題目   Generalized Morrey-Campanato spaces with variable growth condition and  
their duality 
（変動増大条件を伴う一般化モーリー・カンパナート空間とその双対性） 
審査会      委員長 藤間昌一、下村勝孝、鈴木香奈子、澤野嘉宏（研究科外審査委員） 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
論文審査の結果の要旨 
 
 


English

Generalized Morrey-Campanato spaces with variable growth condition and their duality

村重, 淳

海洋における大振幅・非線形波動の数理モデルと解析

中田, 潤

ナカタ, ジュン

Von der landwirtschaftlichen Kollektivierung in der Deutschen Demokratischen Republik zur Agrargenossenschaft:  Der verspätete Erfolg?

清水, 舜也

徳永, 唯花

吉野, 聡

スーパーブレイントレーニングを用いた 体ほぐしの運動の教材づくり

篠崎, 健一

塚田, 純

工藤, 雄司

エレベータ制御教材へのMicro:bit の活用 ―学校説明会等に向けて、建築科と情報技術科の生徒よる協働学習が もたらす教育的効果 ―

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