1,720,986 research outputs found
Going Beyond Counting First Authors in Author Co-citation Analysis
Get PDFThe present study examines one of the fundamental aspects of author co-citation analysis (ACA) - the way co-citation
counts are defined. Co-citation counting provides the data on which all subsequent statistical analyses and mappings
are based, and we compare ACA results based on two different types of co-citation counting - the traditional type that
only counts the first one among a cited work's authors on the one hand and a non-traditional type that takes into
account the first 5 authors of a cited work on the other hand. Results indicate that the picture produced through this non-traditional author co-citation counting contains more coherent author groups and is therefore considerably clearer. However, this picture represents fewer specialties in the research field being studied than that produced through the traditional first-author co-citation counting when the same number of top-ranked authors is selected and analyzed. Reasons for these effects are discussed
Variations on the Author
Get PDF“Variations on the Author” discusses two of Eduardo Coutinho’s recent films (Um Dia na Vida, from 2010, and Últimas Conversas, posthumously released in 2015) and their contribution to the general question of documentary authorship. The director’s filmography is characterized by a consistent yet self-effacing form of authorial self-inscription: Coutinho often features as an interviewer that rather than express opinions propels discourses; an interviewer that is good at listening. This mode of self-inscription characterizes him as an author who is not expressive but who is nonetheless markedly present on the screen. In Um Dia na Vida, however, Coutinho is completely absent form the image, while Últimas Conversas, on the contrary, includes a confessional prologue that moves the director from the margins to the center of his films. This article examines the ways in which these works stand out in the filmography of a director who offers new insights into the notion of cinematic authorship
Appropriate Similarity Measures for Author Cocitation Analysis
Get PDFWe provide a number of new insights into the methodological discussion about author cocitation analysis. We first argue that the use of the Pearson correlation for measuring the similarity between authors’ cocitation profiles is not very satisfactory. We then discuss what kind of similarity measures may be used as an alternative to the Pearson correlation. We consider three similarity measures in particular. One is the well-known cosine. The other two similarity measures have not been used before in the bibliometric literature. Finally, we show by means of an example that our findings have a high practical relevance.information science;Pearson correlation;cosine;similarity measure;author cocitation analysis
Der Mythosdiskurs in Robert Walsers Jakob von Gunten -In Bezug auf den Mythosbegriff und den sprachphilosophischen Mimesisbegriff Walter Benjamins-
No full text학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 독어독문학과, 2013. 2. 임홍배.20세기 전환기에 독일과 스위스를 방랑하며 작품 활동을 한 로베르트 발저는 생시에 큰 주목을 받은 작가는 아니었다. 그는 일찍부터 학업을 중단한 채 변변치 못한 직업들을 전전해야 했던 어린 시절부터 20여 년 간 침묵하며 정신병원에서 지낸 노년기에 이르기까지 철저히 무명의 존재로 세상의 가장자리만을 맴돌며 살아왔다. 본 논문은 로베르트 발저의 대표작 중 하나인 『야콥 폰 군텐』에 나타난 글쓰기 형식과 이러한 글쓰기 형식이 지니는 의미의 지평들을 신화 Mythos라는 개념에 근거하여 살펴보고자 한다. 기존 연구에서 발저의 글쓰기는 본래부터 특정한 내용을 전달하거나 독자의 이해를 구하는 시도와는 거리가 먼 것으로 간주되었다. 또한 발저의 글쓰기는 기표들의 연쇄와 이들 간의 유희를 전적으로 보여주고 있으므로 그의 작품이나 인물들은 해석되어야 할 필연성으로부터 자유로워진다고 여겨졌다. 그런데 당시 발저 연구자들이 크게 의존했던 발터 벤야민의 「로베르트 발저」(1929) 비평문으로 다시 돌아간다면, 이러한 입장은 다소 설득력을 상실하게 된다. 이는 우선 벤야민 특유의 언어관에 입각했을 때 그러하고, 발저의 독특한 글쓰기 형식이 신화와의 거대하고 세속적인 대결 속에서 모색되었다고 본 벤야민의 언급에 주목했을 때 더욱 그러하다. 이러한 연유에서 본 논문은 벤야민이 언어 황무지화라고 명명한 발저의 글쓰기 형식에 분명 이념과 의미 작용이 수반된다고 전제한다.
언어 황무지화 기법은 일차적으로 언어를 야생의 상태, 즉 정돈되지 않은 상태로 내버려 두는 것을 일컫는다. 『야콥 폰 군텐』에서 이러한 방임하는 글쓰기 형식은 뚜렷한 내용 전달 없이 길게 늘어지는 장광설로, 공존할 수 없는 두 가지 상반된 의미를 병치하는 역설로, 부정적인 것을 중심으로 이야기를 전개해 나가는 부정의 아이러니로, 일반적인 1인칭 서술자의 문법을 위반하는 분열된 화자의 면모로 구현되고 있다. 그런데 이러한 언어 기법들은 단순히 독특한 언어 실험의 용례들에 국한되는 대신, 이야기를 듣는 사람에게 법과 의무를 부과하는 기존의 폭력적 서사 방식―신화의 담화 방식―을 중단하고 무력화하는 힘을 발휘한다. 나아가 언어란 언어를 통해서가 아니라 언어 속에서 정신적 본질을 전달하는 매개라고 본 벤야민의 입장을 참조한다면, 발저의 언어는 자신의 언어 안에서 스스로 함께 나눌 수 있는 지혜와 경험을 직접적으로 드러내준다고 볼 수 있다. 발저의 언어 황무지화 기법은 공유의 자리를 마련함과 동시에 지혜의 나눔을 지향한다. 그리고 벤야민에 따르면 이러한 독특한 문학적 전략의 근저를 이루는 것은 바로 발저 특유의 스위스적 면모인 수줍음이다. 언어와 관련된 이러한 수줍음은 언어를 마주대할 때 느끼는 수줍음뿐만 아니라 언어를 위한 수줍음이기도 하다. 자신의 말을 재차 지우게끔 하는 언어 앞에서의 수줍음은 당당하게 구획 짓는 세계에 결코 익숙해질 수 없는 무능력과 다르지 않은데, 바로 이러한 무능력의 능력을 통해 관습화되고 규범화된 언어―신화의 언어―가 힘을 잃고, 오히려 변방으로 밀려난 언어를 위한 공간이 마련되는 것이다. 다시 말해 언어-수줍음이라는 좁은 문(門)을 통해 황무지화된 언어가 들어설 자리가 예비된다.
이러한 맥락에서 하인이 되기 위해 자발적으로 벤야멘타 하인학교에 들어가는 야콥 폰 군텐의 이야기 역시 단순히 이해 불가능한 이야기로 치부될 수 없다. 야콥을 비롯한 생도들은 아무짝에도 쓸모없는 사람의 전형으로 그려지지만, 이들이 훈련하는 완벽히 섬기는 태도는 크고 높은 존재에 대한 선망과 획일적 평등으로 점철된 근대의 폭력적 신화를 해체하는 기묘한 전략으로 자리매김되기 때문이다. 그런데 여기서 다시금 주목을 끄는 점은 야콥이 이러한 근대의 신화와 대결을 벌이는 방식으로 신화의 부정적인 형상들―가령 계급, 규율, 원칙, 복종 및 인내의 윤리 등―이 한층 더 집약되어 있는 벤야멘타 하인학교에 입학한다는 사실이다. 바꾸어 말하자면 야콥은 신화와 대결을 벌이는 방식으로 이 세계와 비판적 거리를 두는 대신, 오히려 이 세계에 더욱 밀착하는 방식을 취하는 것이다. 이러한 테제는 법적 폭력이 난무하는 신화적 세계를 역사적 공간 속에서 해체시킬 것을 강조하면서도 이를 전적으로 폐기해야 할 대상으로 보지 않고, 오히려 신화 속에 깊숙이 침잠해 신화가 가진 힘―혁명을 위한 도취의 힘―을 훔쳐내야 한다고 역설한 벤야민의 입장과 정확히 조응한다. 벤야민에게 신화로의 침잠은 특유의 미메시스적 능력을 통해 신화로부터 깨어남과 연결되고, 도취는 혁명과 교차된다. 이렇듯 신화에는 그것이 가진 폭력성에도 불구하고 결코 기각될 수 없는 그 무엇, 즉 자유와 공동체를 도래시키는 힘이 존재한다.
따라서 『야콥 폰 군텐』은 신화적 인물 유형―가령 아무짝에도 쓸모없는 사람―에 해당하는 야콥이 신화적 공간인 하인학교에 들어가 황야로 떠나기까지, 이 신화적 세계 혹은 신화 그 자체와 벌이는 세속적인 대결의 기록이라고 볼 수 있다. 여기서 생도들이 학교의 훈련에 따라 점차 영(零)에 가까운 존재로 자신을 비워가며 학습하는 하인의 섬김은 이 세계에 가시적인 결과물을 산출하지는 않지만 무엇보다 균질한 신화적 공간으로부터 깨어나는 각성의 계기를 마련한다. 또한 하인의 수동적 삶의 양태는 신화로의 침잠과 신화로부터 깨어남 사이에 모호하게 위치하고 있는 독특한 경험들과 관계하는데, 이러한 경험들은 다름 아닌 시대적 허무주의의 자리를 지울 뿐만 아니라 가장 작은 존재로 수렴해가지만 언제나 여전히 나눔 가능한 존재의 이념을 선사한다. 하인의 기묘한 존재 방식은 신화적 세계를 초월함으로써가 아니라, 이 세계가 부과한 법과 경계를 한 번 더 분할함으로써 자유를 도출해내는 것이다. 이러한 자유는 신화의 화석화된 언어를 그 내부에서 한 번 더 나눔으로써 마련되는 언어 그 자체를 위한 공간과도 맞닿아 있다. 이는 다름 아닌 신화의 공간 내부에서 기적의 순간을 예비하는 섬김의 이념과도 정확히 조응한다.목 차
Ⅰ. 서론 1
1. 로베르트 발저의 생애와 문학 2
2. 『야콥 폰 군텐』과 신화 연구 12
Ⅱ. 신화 개념 고찰 19
1. 19세기 전환기의 새로운 신화 담론사 19
1) 후기 계몽주의의 새로운 신화 20
2) 초기 낭만주의의 새로운 신화 25
2. 발터 벤야민의 신화 개념 32
1) 운명과 신화 34
2) 미메시스와 신화 42
3) 신화와 동화 48
Ⅲ. 『야콥 폰 군텐』에 나타난 신화적 공간과 신화적 인물 56
1. 신화적 공간 59
1) 벤야멘타 하인학교 59
2) 대도시 63
3) 내실 69
2. 신화적 인물 74
1) 야콥과 생도들 74
2) 벤야멘타 원장과 리자 벤야멘타 양 82
Ⅳ. 신화와의 대결 형식으로서의 언어 황무지화 89
1. 글쓰기의 물질성 89
2. 언어 황무지화 92
1) 장광설 94
2) 역설 99
3) 부정의 아이러니 104
4) 분열된 1인칭 서술자 112
Ⅴ. 신화의 극복과 자유의 가능성 117
1. 하인의 섬김 117
1) 기적 119
2) 향기 123
2. 하인의 시간 130
1) 동화의 시간 132
2) 도래하는 자유 136
Ⅵ. 결론 141
참고문헌 144
Zusammenfassung 150Maste
Dispelling the Myths Behind First-author Citation Counts
Get PDFWe conducted a full-scale evaluative citation analysis study of scholars in the XML research field to explore just how different from each other author rankings resulting from different citation counting methods actually are, and to demonstrate the capability of emerging data and tools on the Web in supporting more realistic citation counting methods. Our results contest some common arguments for the continued
use of first-author citation counts in the evaluation of scholars, such as high correlations between author rankings by first-author citation counts and other citation
counting methods, and high costs of using more realistic citation counting methods that are not well-supported by the ISI databases. It is argued that increasingly available digital full text research papers make it possible for citation analysis studies to go beyond what the ISI databases have directly supported and to employ more
sophisticated methods
비브리오패혈증균의 철-황 클러스터 결합 전사인자 IscR과 NsrR의 숙주 유래 스트레스에 의한 전사 조절 특성 규명
Get PDF학위논문(박사) -- 서울대학교대학원 : 농업생명과학대학 농생명공학부, 2021.8. 최상호.숙주 내에서 생존하고 성공적인 감염을 일으키기 위해서 병원성 박테리아는 숙주에서 유래한 스트레스를 인지하여 독성인자들의 발현을 적절하게 조절해야 한다. 이를 위하여 어떤 전사인자들은 산화 스트레스, 질산화 스트레스, 철의 결핍과 같은 다양한 환경적 신호에 민감한 철-황 클러스터를 보조인자로 활용한다. 본 연구는 치사율이 높은 식중독균인 비브리오패혈증균이 가지고 있는 두 개의 철-황 클러스터 결합 전사인자 IscR과 NsrR의 전사 조절 특성을 조사하였다. vvhBA 오페론에 의해 암호화되어 있는 세포용해/용혈인자 VvhA는 세포 밖으로 분비되는 세공 형성 독소로 비브리오패혈증균의 강력한 용혈 활성에 기여하는 독성인자이다. 전사체 및 전사물 분석 결과, vvhBA는 쥐의 혈액 또는 대식세포에 노출되었을 때 발현이 증가하였다. 돌연변이 분석을 통해 IscR이 철-황 클러스터를 파괴해 세포 내 apo-IscR 단백질의 양을 증가시키는 질산화 스트레스와 철의 결핍을 감지하여 vvhBA 오페론의 발현을 활성화시킨다는 것을 확인하였다. 흥미롭게도 IscR은 양성 조절자임에도 불구하고 vvhBA의 프로모터인 PvvhBA의 하부에 결합하였다. PvvhBA 조절 영역에서 IscR의 정확한 역할을 규명하기 위해 IscR과 또 다른 전사인자인 HlyU, H-NS의 상호작용을 조사하였다. HlyU는 PvvhBA의 상부에 직접적으로 결합하여 vvhBA의 전사를 활성화하는 반면, H-NS는 PvvhBA의 하부와 상부에 광범위하게 결합하여 vvhBA의 전사를 억제하였다. IscR과 HlyU의 결합 위치가 H-NS의 결합 위치와 중첩되어 있다는 관찰을 바탕으로, 추가적인 생화학적 분석들을 통해 IscR과 HlyU가 PvvhBA 조절 영역에 결합한 H-NS를 떼어내어 H-NS에 의한 억제를 완화함으로써 vvhBA의 발현을 유도한다는 것이 밝혀졌다. PvvhBA의 하부와 상부 모두에서 IscR과 HlyU가 동시에 발현 억제를 완화하는 것은 질산화 스트레스 및 철의 결핍과 같은 숙주 유래 스트레스 신호를 통합적으로 인식하여 vvhBA의 전사를 정확하게 조절하는 수단으로 활용되어 비브리오패혈증균이 숙주 감염을 성공적으로 일으킬 수 있도록 도울 것이다. 한편, 철-황 클러스터와 결합하고 있을 것으로 추측되는 비브리오패혈증균의 또 다른 전사인자 NsrR이 발굴되었다. 전사체 분석 결과, NsrR은 질산화 스트레스 대응에 관련되었을 것으로 추정되는 다수의 유전자들의 발현을 조절하였다. 특히, NsrR은 유독한 일산화질소를 효과적으로 분해하는 일산화질소 이산소화효소 암호화 유전자 hmpA의 강력한 음성 조절자로서 일산화질소에 노출되었을 때 hmpA의 발현 억제를 완화하였다. nsrR과 hmpA는 반대 방향으로 전사되는데, 그들의 프로모터 영역은 서로 중첩되어 위치하고 있었다. 분자생물학적 분석은 NsrR이 중첩된 프로모터 영역에 직접적으로 결합하며, 질산화 스트레스에 의해 철-황 클러스터가 손상되었을 때 DNA 결합 능력을 상실함으로써 hmpA의 발현 억제를 완화한다는 것을 증명하였다. 추가적인 생화학적 분석과 돌연변이 분석을 통해 Lrp가 nsrR-hmpA 조절 영역에 직접적으로 결합하여hmpA의 발현을 억제한다는 것을 확인하였다. Lrp의 hmpA 발현 억제 활성은 NsrR 의존적이었는데, 아마도 Lrp가 DNA의 형태를 변화시킴으로써 NsrR의 hmpA 발현 억제 활성을 강화하는 것으로 추정된다. 한편, CRP는 nsrR과 lrp의 프로모터 영역에 직접적으로 결합하여 이들의 발현을 억제함으로써 순차적으로 hmpA의 발현을 활성화하는 것으로 보인다. NsrR은 Lrp, CRP와의 협력적인 전사 조절을 통해 hmpA의 발현을 정교하게 제어하여 비브리오패혈증균이 숙주로부터 유래된 질산화 스트레스를 극복하고 생존하여 병을 일으킬 수 있도록 기여할 것이다.To survive and establish successful infection within their hosts, pathogenic bacteria need to recognize host-derived stresses for the appropriate expression of virulence factors in a spatiotemporal manner. To this end, some transcription factors utilize an iron-sulfur (Fe-S) cluster as a cofactor, which is sensitive to various environmental stimuli such as oxidative stress, nitrosative stress, and iron starvation. In the present study, the regulatory characteristics of two Fe-S cluster-containing transcription factors, IscR and NsrR, of the fulminating food-borne pathogen Vibrio vulnificus have been investigated. A cytolysin/hemolysin VvhA encoded by the vvhBA operon is an extracellular pore-forming toxin, contributing to the powerful hemolytic activity of V. vulnificus. Transcriptome and transcript analyses showed that vvhBA is preferentially expressed upon exposure to murine blood and macrophages. Mutational analyses indicated that IscR activates the vvhBA operon in response to nitrosative stress and iron starvation, during which the Fe-S cluster is disrupted and the cellular apo-IscR protein level is increased. Interestingly, IscR directly binds downstream of the vvhBA promoter PvvhBA, which is unusual for a positive regulator. To investigate the exact role of IscR on the PvvhBA regulatory region, the interaction of IscR with other transcription factors HlyU and the histone-like nucleoid-structuring protein (H-NS) was examined. In addition to IscR, HlyU activates vvhBA transcription by directly binding upstream of PvvhBA, whereas H-NS represses vvhBA by extensively binding to both downstream and upstream regions of its promoter. Of note, the binding sites of IscR and HlyU overlapped with those of H-NS. Further biochemical analyses substantiated that IscR and HlyU outcompete H-NS for binding to the PvvhBA regulatory region, resulting in the release of H-NS repression and vvhBA induction. This concurrent antirepression by IscR and HlyU at regions both downstream and upstream of PvvhBA would provide V. vulnificus with the means of integrating host-derived stresses such as nitrosative stress and iron starvation for precise regulation of vvhBA transcription, thereby enabling successful host infection. On the other hand, another transcription factor NsrR predicted to contain the Fe-S cluster was identified in V. vulnificus. Transcriptome analysis showed that NsrR controls the expression of multiple genes potentially involved in nitrosative stress responses. Particularly, NsrR acts as a strong repressor of hmpA encoding a nitric oxide (NO) dioxygenase that effectively decomposes toxic NO, and mediates the derepression of hmpA upon exposure to NO. Notably, nsrR and hmpA are transcribed divergently, and their promoter regions overlap with each other. Molecular biological analyses revealed that NsrR directly binds to this overlapping promoter region, which is alleviated by loss of the Fe-S cluster, leading to the subsequent derepression of hmpA under nitrosative stress. Further biochemical and mutational analyses found that a leucine-responsive regulatory protein (Lrp) negatively regulates hmpA in an NsrR-dependent manner by directly binding to the promoter region, presumably resulting in a DNA conformation change to support the repression by NsrR. Meanwhile, a cyclic AMP receptor protein (CRP) positively regulates hmpA probably through repression of nsrR and lrp by directly binding to each promoter region in a sequential cascade. The collaborative regulation of NsrR along with Lrp and CRP enables an elaborate control of hmpA transcription, contributing to survival under host-derived nitrosative stress and the pathogenesis of V. vulnificus.Chapter I. Background 1
I-1. Vibrio vulnificus 2
I-1-1. Disease caused by V. vulnificus 3
I-1-2. Virulence factors of V. vulnificus 4
I-2. Fe-S cluster 11
I-2-1. Structure and function of Fe-S clusters 11
I-2-2. Biogenesis of Fe-S clusters by Isc system 12
I-3. Objective of this study 14
Chapter II. IscR integrates nitrosative stress and iron starvation in activation of the vvhBA operon in Vibrio vulnificus 15
II-1. Introduction 16
II-2. Materials and Methods 19
II-2-1. Strains, plasmids, and culture conditions 19
II-2-2. RNA purification and RNA-seq analysis 23
II-2-3. Quantitative RT-PCR 24
II-2-4. Generation and complementation of the mutants 30
II-2-5. Protein purification and Western blot analysis 31
II-2-6. Electrophoretic mobility shift assay and DNase I protection assay 32
II-2-7. Data analysis 33
II-3. Results 34
II-3-1. Expression of vvhBA is induced upon exposure to murine blood and macrophages 34
II-3-2. IscR positively regulates vvhBA transcription 60
II-3-3. IscR activates vvhBA by sensing nitrosative stress and iron starvation 62
II-3-4. IscR binds downstream of the vvhBA promoter to activate vvhBA 65
II-3-5. HlyU and H-NS regulate vvhBA by directly binding to the PvvhBA regulatory region 69
II-3-6. IscR and HlyU outcompete H-NS by simultaneous binding to the PvvhBA regulatory region 73
II-3-7. IscR and HlyU alleviate H-NS repression to activate vvhBA additively in vivo 76
II-4. Discussion 81
Chapter III. NsrR tightly regulates the hmpA gene in response to nitrosative stress in Vibrio vulnificus 89
III-1. Introduction 90
III-2. Materials and Methods 94
III-2-1. Strains, plasmids, and culture conditions 94
III-2-2. Generation and complementation of the mutants 94
III-2-3. RNA-seq and transcriptome analysis 97
III-2-4. Quantitative RT-PCR and primer extension analysis 98
III-2-5. Protein purification and Western blot analysis 99
III-2-6. Construction of PnsrR-luxCDABE transcriptional fusion 100
III-2-7. Electrophoretic mobility shift assay and DNase I protection assay 101
III-2-8. Data analysis 102
III-3. Results 103
III-3-1. Genome and transcriptome analyses identified NsrR in V. vulnificus 103
III-3-2. hmpA transcription is derepressed by NsrR in response to NO 110
III-3-3. Three conserved cysteine residues are essential for NsrR to regulate hmpA and nsrR 114
III-3-4. PhmpA and PnsrR overlap divergently with each other 118
III-3-5. NsrR directly binds to the nsrR-hmpA regulatory region to repress hmpA and its own expression 121
III-3-6. Lrp represses hmpA in an NsrR-dependent manner by directly binding to the nsrR-hmpA regulatory region 124
III-3-7. CRP activates hmpA, but represses nsrR by directly binding to the nsrR-hmpA regulatory region 130
III-4. Discussion 135
Chapter IV. Conclusion 147
References 151
국문초록 171박
koamabayili/VECTRON-author-checklist: VECTRON author checklist
No full textWe have done our best to complete the author checklist relating to the use of animals in the hut study. Note that the objective for the hut study was to evaluate the IRS treatment applications for residual efficacy against Anopheles mosquitoes, including the local An. coluzzii mosquito population. Cows were only used to attract mosquitoes into the huts and no tests were carried out directly on the cows. The author checklist is intended for use with studies where experiments are carried out on animals, which is why we have had such difficulty in completing this for the hut study, as many of the questions do not relate to how the cows were used
Single-shot spectral angle-resolved ellipsometry using multi-spectral back focal plane imaging and phase retardance
No full text학위논문 (박사) -- 서울대학교 대학원 : 공과대학 기계항공공학부, 2021. 2. 박희재.본 연구에서는 엘립소메트리를 산업 현장에서 적용하기 위해서 경사 입사 구조, 편광 변조에 의한 긴 측정시간, 다양한 파장과 입사각에 대한 측정의 필요성, 측정 가능한 뮬러 행렬의 성분 갯수의 4가지 이슈를 해결한 연구 방법을 제안한다. 이를 위해 칼라카메라의 다파장 이미징 기능과 위상지연기를 이용하여 다파장 마이크로 엘립소메트리를 구현하였다. 후초점면 이미징을 통해 수직 광학계에서 한번의 측정으로 편광 변조를 수행했다. 이 때 후초점면 이미징을 칼라 카메라를 통해 수행해서 한번의 측정으로 다양한 파장과 입사각에 대한 동시 측정을 달성했다. 칼라 카메라에 내장된 베이어 필터의 필터링 함수를 고려하여 R,G,B 새로운 도메인에 대한 데이터를 얻을 수 있었다. 위상 지연기는 등방성 시료에 대한 전체 뮬러 행렬이 갖는 4개의 성분들을 한번의 측정으로 구할 수 있도록 한다. 이는 엘립소메트리의 측정 시간을 단축시킬뿐만 아니라 측정 성능을 높여 보다 빠르고 정확한 측정이 가능하도록 한다. 본 연구 방법을 검증하기 위해 기준 측정 장비인 Dual-rotating compensator 엘립소메트리와 비교하였다. 다양한 단층막과 다층막 시료를 측정하고 이를 기준 측정 장비와 비교하여 정확도를 검증했다. 또한 각 시료에 대해 20회 반복 측정함으로써 측정 기기의 정밀도를 검증하였다. 측정 결과를 바탕으로 연구 방법이 산업 현장에서 충분히 사용 가능한 높은 정확도와 정밀도를 가짐을 확인했다. 본 연구를 통해 수직 광학계를 구성하면서, 한번의 측정으로 다양한 파장과 입사각에 대한 동시 측정이 가능하며 별도의 파장 변조를 위한 구동 장치 없이 4개의 뮬러 행렬 성분을 구할 수 있는 광학계를 개발하였다.We proposed a method solving the four issues of conventional ellipsometry including oblique incidence structure, long measurement time by polarization modulation, simultaneous acquisition of various wavelengths and incident angles, and full Mueller matrix elements. The proposed method achieves a single-shot on-axis measurement scheme of multi-spectral angle-resolved ellipsometry by using multi-spectral imaging and phase retardance. The on-axis setup provides a compact configuration and reduced spot size. The single-shot measurement removes hardware movements, which shortens the measurement time and removes mechanical vibration. A back focal plane image captured by the color camera enables to simultaneously measure various polarization states along with incident angles and multi-spectral domains. The phase retarder can use four elements of Mueller matrix for an isotropic sample. The proposed method is validated by comparing the measurement results of various uniformly deposited films with a dula-rotating compensator ellipsometer. The comparison shows that our proposed method achieves real-time inspection with high accuracy and precision.초록 i
그림목차 iv
표목차 vii
약어설명 viii
기호설명 ix
제1장 서론 1
1.1 연구배경 1
1.2 연구동향 9
1.2.1 엘립소메트리(Ellipsometry) 9
1.2.2 마이크로 엘립소메트리(Micro-ellipsometry) 10
1.3 연구 목표 및 범위 13
제2장 배경이론 14
2.1 편광 14
2.1.1 편광의 종류 14
2.1.2 존스 행렬 (Jones matrix) 14
2.1.3 스토크스벡터 (Stokes vector)와 뮬러 행렬 (Mueller matrix) 16
2.2 박막과 빛의 상호작용 18
2.2.1 빛의 굴절과 반사 18
2.2.2 박막에서의 다중 반사 19
제3장 다파장 마이크로 엘립소메트리 이론 23
3.1 후초점면 이미징 25
3.2 마이크로 엘립소메트리 해석 31
3.3 칼라카메라를 통한 다파장 획득 38
3.4 하드웨어 최적화 43
제4장 다파장 마이크로 엘립소메트리 구현 46
4.1 하드웨어 구성 46
4.2 대물 렌즈 후초점면 보정 49
4.3 광학 부품 방위각 보정 53
4.4 광학 부품 뮬러 행렬 보정 54
4.5 베이어 필터의 양자 효율 보정 55
제5장 다파장 마이크로 엘립소메트리 측정 성능 검증 62
5.1 단층막 시료 측정 및 결과 64
5.2 다층막 시료 측정 및 결과 75
제6장 다파장 마이크로 엘립소메트리 측정 오차 분석 79
6.1 편광 부품의 방위각에 따른 오차 80
6.2 이미지 해상도에 따른 후초점면 반지름에서 각도 오차 85
제7장 결론 86
ABSTRACT 95Docto
- …
