173102 research outputs found
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How water, temperature, and seismicity control the preconditioning of massive rock slope failure (Hochvogel)
Leveraging Prosumer Flexibility to Mitigate Grid Congestion in Future Power Distribution Grids
Vitamin C-Dependent Uptake of Non-Heme Iron by Enterocytes, Its Impact on Erythropoiesis and Redox Capacity of Human Erythrocytes
Globale Prävalenz von zervikalen HPV-Infektionen bei älteren Frauen mit normaler Zytologie: Eine systematische Review und Metaanalyse
C3.2 - Piezoelektrische MEMS-Mikrofone mit Regelung durch Kraftrückkopplung
Wir präsentieren das Design und eine erste experimentelle Validierung eines durch Kraftrückkoppelung geregelten piezoelektrischen MEMS-Mikrofons mit dem Ziel, die Sensorlinearität zu erhöhen, eine flache Frequenzantwort zu ermöglichen und Systemresonanzen zu dämpfen. Das MEMS-Konzept beruht auf einer allseitig eingespannten, gewellten Aluminiumnitridmembran. Das Design und die Auswertung der wichtigsten Sensorparameter wurden mithilfe von gekoppelten Finite-Elemente- Simulationen durchgeführt und die Messungen erster Prototypen mit Hilfe eines Laser-Doppler- Vibrometers bestätigen, dass die kraftrückgekoppelte Regelung des MEMS-Mikrofons möglich ist