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High-Yield Wafer-Scale Self-Assembly of 3D Microelectronic Devices for Electron Optics
Parallel fabrication of 3D self-assembled micro coils has been carried out, providing the basis for micro electromagnetic elements capable of shaping and modulating an electron beam with an adjustable magnetic field. The self-assembled micro coils were fabricated in parallel using a polymer technology demonstrated on a 6-inch wafer. The parallel process also successfully integrates the Bosch's deep silicon etching process to open an aperture for the electron beam. An 88% yield was achieved in this parallel process. The individual fabricated devices were tailored to fulfil various electron optical functions, including deflectors, lenses, and phase plates. Given their small dimensions, these devices were retrofitted into an existing transmission electron microscope. A static deflection in the mrad regime was observed for 300 kV electrons. In addition, 2D deflectors for the electron beam were fabricated to allow blanking, 2D scanning and a proof of concept for stroboscopic experiments. Useful electron beam deflection was observed up to a frequency of 100 MHz. The focusing devices used magnetic quadrupole schemes and achieved focal lengths of as little as 46 mm for 300 kV electrons. In addition, phase plate devices have been developed that can shift the phase of the 300 keV electron beam in the azimuthal direction up to several 1000 π rad. These elements indicate the practicality of miniaturizing electron optical components for a variety of applications, including multibeam instruments, miniaturized electron optical instruments, stroboscopic measurement setups, and the in-situ application of a tunable magnetic field.:NOTATION AND REMARKS VI
1 MOTIVATION 1
2 THEORY AND BACKGROUND 7
2.1 MICRO ELECTROMAGNETS 8
2.1.1 Magnetic Field Generation: Biot-Savart law 9
2.1.2 Electrical Characteristics 12
2.2 ELECTRON OPTICS 18
2.2.1 Deflectors, Differential Phase Contrast, and Dipoles 18
2.2.2 Electron Vortex Beam 21
2.2.3 Quadrupole Lenses 25
3 DESIGN, FABRICATION, AND TESTING SETUP 29
3.1 DESIGN AND FABRICATION OVERVIEW 30
3.1.1 Micro Electron Optical Systems: Design 30
3.1.2 Fabrication Steps (Flowchart) 36
3.2 WAFER-SCALE FABRICATION 38
3.2.1 Photolithography 38
3.2.2 Self-Assembly: Polymer Platform 45
3.2.3 Deposition Methods: Sputtering and Atomic Layer Deposition 56
3.2.4 Bosch Process (BP) 59
3.3 SINGLE DEVICE COMPLETION AND TESTING 63
3.3.1 Wafer dicing, micro wire insertion and shaping 63
3.3.2 Device Characterization 69
3.3.3 Experiment Setup: TEM Sample Holders 71
4 RESULTS AND DISCUSSION 77
4.1 YIELD OF SELF-ASSEMBLED MICRO COILS ON 6-INCH WAFER 78
4.1.1 Electrical Characterization: Planar versus Rolled 79
4.1.2 Visual Inspection 85
4.1.3 Current Breakdown Test 90
4.2 STATIC ELECTRON OPTICS DEVICES 95
4.2.1 Phase Plate: Electron Vortex Beam Generator 95
4.2.2 Deflector: Miniaturized Dipole 100
4.2.3 Magnetic Quadrupole: Focusing 106
4.3 DYNAMIC ELECTRON OPTICS 111
4.3.1 High-Frequency Deflection 112
4.3.2 Stroboscopic Setup 116
5 SUMMARY AND OUTLOOK 121
BIBLIOGRAPHY I
APPENDICES XI
APPENDIX A XII
APPENDIX B XIV
APPENDIX C XVIII
LIST OF FIGURES AND TABLES XXI
ACKNOWLEDGEMENT XXVI
VERSICHERUNG XXVII
‘In forests of eternal death […] I bring forth from my teeming bosom myriads of flames’: The Origin of Necropolitics and Visions of Resistance in William Blake’s The Marriage of Heaven and Hell and The Continental Prophecies
8. Sächsischer Kinder-Garten-Wettbewerb
Die Broschüre dokumentiert den 8. Sächsischen Kinder-Garten-Wettbewerb von 2023 bis 2024. Darüber hinaus werden die Preisträger des Wettbewerbs mit Ihren Gartenideen und vielseitige kreative Ideen für die Gestaltung von naturnahen und bildungsfördernden Freiräumen in Einrichtungen der Kindertagesbetreuung vorgestellt.
Redaktionsschluss: 31.12.202
Dann heul doch! (UA): eine Recherche mit Kindern über das Weinen, von Julia Brettschneider, Schauspiel, Kleine Bühne : 7+
Das tjg. hat mit zweihundert Kindern in Dresden darüber
gesprochen, warum, wann und wo sie weinen. Über die Gründe des Weinens zu sprechen, ist manchmal gar
nicht leicht. Es sind starke Gefühle, die uns die Tränen in die
Augen treiben wie Wut, Freude, Angst oder Scham. Ist es peinlich
zu weinen? Oder ist es einfach schön?
In den Antworten der Kinder taucht der Schmerz über verlorene
Tiere auf, Freunde werden vermisst und manche sind so albern,
dass sie beim Weinen nicht aufhören können zu lachen. Drei
Schauspieler*innen bringen die Geschichten und Gefühle auf
die Bühne und teilen sie mit dem Publikum. So entsteht eine
Gemeinschaft, in der die Lust auf das Weinen nicht weggedrückt oder runtergeschluckt wird, sondern frei und neugierig
erkundet werden kann.
Premiere Sa 28. Sep 202
Pflege- und Entwicklungsplanung im Nationalpark Sächsische Schweiz - Teil Wildbestandsregulierung
Der ursprüngliche Lebensraum und die Artenzusammensetzung der heimischen Wildarten wurden durch den Einfluss des Menschen tiefgreifend verändert. Die natürliche Dynamik der Wildarten ist anthropogen überprägt. Eine natürliche Regulierung in Richtung eines ausgewogenen Wildbestandes ist nicht gegeben. Daraus ergibt sich die Notwendigkeit der Bestandsregulierung ausgewählter Wildarten auch im NLP. Eine Regulierung der Wildbestände im NLP ist unter Beachtung der gebotenen Eingriffsminimierung soweit und solange geboten, wie dies die Belange des Schutzzwecks und anderer öffentlicher Interessen erfordern (Anlage 5 Nr. 6 der Verordnung des Sächsischen Staatsministeriums für Umwelt und Landwirtschaft über die Nationalparkregion Sächsische Schweiz (NLPR-VO)). Durch den Staatsbetrieb Sachsenforst (SBS), NLP-Verwaltung Sächsische Schweiz, ist für den NLP ein Pflege- und Entwicklungsplan (PEP), Teil Wildbestandsregulierung, zu erstellen und fortzuschreiben (§ 14 Abs. 2 Nr. 1 c und Abs. 3 NLPR-VO)
Chromatin-mediated regulation of the extracellular microenvironment in brain development and evolution
Die Entwicklung komplexer Verhaltensweisen, welche das Entstehen von Kultur, Wissenschaft, Kunst und Literatur ermöglichten, wurden mit der Expansion des Neokortex im Laufe der menschlichen Evolution in Verbindung gebracht. Unterschiede in der Neuronenanzahl von Säugetieren sowie die einzigartige Intelligenz des Menschen wurden mit dieser Expansion assoziiert. Es gibt Hinweise darauf, dass Variationen in der Neuronenanzahl von Säugetieren durch Unterschiede in der proliferativen Kapazität von neuralen Vorläuferzellen (engl. NPCs) widergespiegelt werden. Daher kann die Untersuchung der Mechanismen, welche die Proliferation von NPCs fördern, dazu beitragen, die Expansion des menschlichen Neokortex besser zu verstehen. Differenzen in der proliferativen Kapazität von NPCs zwischen den Säugetierarten wurden mit dem Auftreten genetischer Neuheiten während der Evolution in Verbindung gebracht. Mehrere spezifisch menschliche Gene wurden als treibende Kräfte der Expansion des menschlichen Neokortex identifiziert. Dennoch wurde die Mehrheit der Veränderungen im menschlichen Genom in nicht-kodierenden Bereichen beschrieben, was darauf hindeutet, dass Veränderungen der Genregulations-Sequenzen sowie deren Auswirkung auf das Genexpressions-Muster an der Expansion des menschlichen Neokortex beteiligt sein könnten. Der transkriptomische Vergleich zwischen sich entwickelnden Gehirnen von Maus, einer Spezies mit kleinem Gehirn, und Mensch hat die Bedeutung der extrazellulären Nische während der Gehirnentwicklung hervorgehoben. Dennoch wurden Studien der Genregulations-Mechanismen von differentiell exprimierten Genen (engl. DEG), die mit der extrazellulären Nische in Verbindung gebracht werden, noch nicht beschrieben. In dieser Arbeit wurde nach DEG zwischen sich entwickelndem Neokortex von Maus und Mensch gesucht und drei Kandidatengene, namentlich Acan, Lamc2 und Ereg, auf Grund ihrer Assoziation mit der extrazellulären Nische, ausgewählt. Die Gene Acan und Lamc2 kodieren für zwei Proteine der extrazellulären Matrix (engl. ECM), AGGRECAN und die Gamma-2- Untereinheit von LAMININ-5, während Ereg für den Wachstumsfaktor EPIREGULIN kodiert. Für alle drei Gene ist die Expression während der menschlichen, aber nicht der murinen Gehirnentwicklung vorhanden. In dieser Studie wurden alle drei Proteine, AGGRECAN, LAMININ-5 und EPIREGULIN, untersucht, um ihre Rolle bei der Proliferation von NPCs zu bestimmen. Allerdings zeigte nur EPIREGULIN, dass es die Proliferation von NPCs durch den epidermalen Wachstumsfaktorrezeptor (engl. EGFR) im sich entwickelnden Neokortex der Maus förderte. Zusätzlich zeigte die Ablation von EREG in menschlichen kortikalen Organoiden eine Verringerung der NPC-Proliferation und der Neuronenbildung. Interessanterweise förderte EPIREGULIN die Proliferation von NPCs in Gorilla-, nicht aber in menschlichen kortikalen Organoiden. Schließlich identifizierten wir potenzielle Enhancer-Regionen in der Nähe des menschlichen EREG-Gens, die an der Regulation der EREG-Expression während der Neokortexentwicklung beteiligt sein könnten. Zusammenfassend legt diese Studie nahe, dass inter-spezies Unterschiede in der EREG-Expression, vermittelt durch Chromatin-Regulation, die Proliferation von NPCs während der Gehirnentwicklung fördern könnte, was zu einer erhöhten Neuronenbildung und zur Expansion des Neokortex beitragen haben könnte
Die Radeberger Bierglasmalerei
Durch Einzelvertreter der Radeberger Glasindustrie und Besitzer einer Würzburger Bierglasmalerei wurde 1924 eine Bierglasmalerei in Radeberg gegründet. Zur Gestaltung kamen freie Malerei, Siebdruckverfahren, Stahldruckverfahren, teilweise in Kombination, zum Einsatz. Später ermöglichte der Einsatz von Abziehbildern die Verarbeitung größerer Mengen Gläser. Anfänglich kamen Gläser vorrangig aus Radeberg (Kronenglas). Speziell nach dem zweiten Weltkrieg erfolgten die Glaslieferungen von Glasfabriken außerhalb Radeberg. Beliefert wurden nahezu 100 Brauereien. Daneben reichte die Kapazität für die Glasveredlung in Minderstückzahlen aus Anlass von Veranstaltungen, Jubiläen und eingeschränktem Privatbedarf. Die Betriebsschließung erfolgte 1990 im Zusammenhang mit der Zuwendung der überwiegenden DDR Gaststätten zu Brauereien in den alten Bundesländern.:Radeberg als Glasstadt
Die Firmengründung
Der Firmenverlauf bis zum Ende Zweiter Weltkrieg
Die Entwicklung nach dem Zweiten Weltkrieg
Der Übergang zur Siebdruckproduktion
Rabima als Volkseigener Betrieb
Mit der Wende 1990 kam das End