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Physical Modelling and Identification of Nonlinear Effects in Microelectromechanical Systems
Analytical and semi-analytical physical models for MEMS are derived from nonlinear mechanics. By taking into account system characteristics and assumptions, system identification enables the derivation of a mathematical model that is tailored to the effect and the MEMS under analysis. Such an adapted model can successfully emulate and explain the nonlinear dynamics of individual MEMS, including resonant actuation of parasitic modes. The performed analyses also confirm that small deviations in the mode spectrum between devices influence the occurrence of nonlinear effects.:1 Introduction
2 MEMS: Design, Devices & Modelling
3 Nonlinear Mechanics of Dynamical Systems
4 Modelling Approach
5 System Identification & Characterization
6 ConclusionAnalytische und semi-analytische physikalische Modelle für MEMS werden aus der nichtlinearen Mechanik abgeleitet. Durch die Berücksichtigung systemspezifischer Merkmale und Annahmen, ermöglicht die Systemidentifikation das Ableiten eines mathematischen Modells, das auf den analysierten Effekt und das MEMS zugeschnitten ist. Ein solches Modell kann für die Erklärung der nichtlinearen Dynamik einzelner MEMS herangezogen werden und bildet erfolgreich nichtlineare Effekte nach, einschließlich des resonanten Aufschwingens von Parasitärmoden. Die durchgeführten Analysen bestätigen auch, dass geringe Abweichungen im Modenspektrum zwischen Bauteilen das Auftreten nichtlinearer Effekte beeinflussen.:1 Introduction
2 MEMS: Design, Devices & Modelling
3 Nonlinear Mechanics of Dynamical Systems
4 Modelling Approach
5 System Identification & Characterization
6 Conclusio
Wirkung von Leistungsultraschall auf das Prozessverhalten und die Bindungsmechanismen beim Rührreibschweißen von Aluminium/Stahl-Verbunden
Das ultraschallunterstützte Rührreibschweißen (USE-FSW) als innovatives Hybrid-Pressschweißverfahren zeichnet sich durch eine Reihe von Vorteilen aus, welche es für die Kombination artfremder metallischer Werkstoffe mit deutlich unterschiedlichem Schmelzpunkt ermöglichen, qualitativ hochwertigere Verbunde zu realisieren. Die vorliegende Arbeit thematisiert experimentelle Untersuchungen der Auswirkungen des zusätzlich eingekoppelten Leistungsultraschalls auf das Prozessverhalten und die Bindungsmechanismen sowie daraus resultierender mechanischer Verbundeigenschaften beim ultraschallunterstützten Rührreibschweißen von Aluminium/Stahl-Verbunden. Im Anschluss an die Ermittlung geeigneter Parameter für das konventionelle Rührreibschweißen erfolgen grundlegende Betrachtungen des Einflusses des Leistungsultraschalls auf das Schwingungsverhalten, das thermische Verhalten und das insitu-
Prozesskraftverhalten, aus denen bestmögliche Ultraschallparameter abgeleitet werden. Nachfolgende detaillierte, vergleichende Untersuchungen des konventionellen und des ultraschallunterstützten Rührreibschweißprozesses belegen unter anderem eine Reduktion der Dicke spröder, aluminiumreicher intermetallischer Phasen am Verbund-Interface des USE-FSW-Verbundes, was in einer Erhöhung der Zugfestigkeit und der Duktilität resultiert.The ultrasound enhanced friction stir welding (USE-FSW) as an innovative hybrid solid state joining process is characterized by a number of advantages that enable the realization of higher
quality joints for the combination of dissimilar, metallic material combinations with strongly differing melting points. The present work addresses the impact of the additional power ultra-
sound transmission on the process behavior and the bonding mechanisms as well as resulting mechanical joint properties for the ultrasound enhanced friction stir welding of aluminum/steel
joints via experimental investigations. Subsequent to the determination of suitable parameters for the conventional friction stir welding basic considerations of the power ultrasound influence
on the oscillation behavior, the thermal behavior and the in-situ process force behavior take place for deriving a best possible set of ultrasound parameters. Moreover, the conventional and
the ultrasound enhanced friction stir welding process are investigated comparatively in detail, proving a reduction in thickness for brittle, aluminum-rich intermetallic phases at the USE-FSW
joint interface among other things, resulting in an improved tensile strength and ductility
Mikromechanischer Prozess zur Herstellung mehrlagiger 3D-MEMS (EPyC-Prozess)
In der vorliegenden Dissertation wird die Entwicklung eines MEMS Herstellungsverfahrens beschrieben. Der Bosch patentierte EPyC-Prozess bietet die Möglichkeit komplexe MEMS-Strukturen mit hoher Effektivität auf engem Raum
herzustellen.
Zielsetzung dieser Arbeit ist die Untersuchung und Optimierung der EPyC-Einzelprozesse, sowie der Aufbau eines Mikrospiegelantriebs mit 40 μm hohen Elektrodenfingern für hohe z-Auslenkungen. Die Herstellung von MEMS-Strukturen mit dem EPyC-Prozess erfordert eine gute elektrische und mechanische Funktionalität der dicken epitaktischen Siliziumschichten. Durch Wiederholung der EPyC-Zyklen entsteht eine 3D-Opferstruktur. Die Herausforderung besteht darin, hohe Volumina an Polysilizium am Ende des Prozesses vollständig zu entfernen.
Durch das Wiederholen von fünf EPyC Zyklen wurde der Mikrospiegelantrieb mit
40 μm hohen vertikalen Kammelektroden erfolgreich hergestellt. Anschließend wurde der Mikrospiegelantrieb mit dem optimierten Silizium-Ätzprozess in zwei Schritten freigestellt. Damit der Mikrospiegelantrieb mechanisch beweglich und elektrisch funktional wird, wurde die SiO2-Passivierung auf den Funktionsstrukturen mittels HF-Gasphasenätzen erfolgreich entfernt. Die elektrischen und mechanischen Funktionalitäten des Mikrospiegelantriebes wurden mittels Laservibrometer geprüft und bestätigt.:1 Einleitung 1
1.1 Stand der Technik 3
1.2 Zielsetzung 6
1.3 EPyC-Prozess 7
2 Methoden 16
2.1 Abscheideverfahren 16
2.1.1 Chemische Depositionsverfahren 16
2.1.2 LPCVD-Verfahren 17
2.1.3 Thermische Oxidation 22
2.1.4 Kathodenstrahlzerstäubung (Sputtern) 23
2.2 Silizium Dotieren 24
2.3 Strukturieren von Silizium mit dem DRIE-Prozess (Deep Reactive Ion Etching) 24
2.4 Strukturieren von dielektrischen Schichten: Reaktiven Ionenätzen (RIE) 27
2.5 Gasphasenätzen von Oxid mit HF-Dampf 28
2.6 Isotopes Silizium-Opferschicht Trockenätzen 28
2.6.1 Plasmaloses isotropes Siliziumätzen mit Xenondifluorid 28
2.6.2 Plasmaunterstütztes isotropes Siliziumätzen mit Schwefelhexafluorid 31
2.7 Charakterisierung der abgeschiedenen Schichten 31
2.7.1 Kristallstruktur 31
2.7.2 Mechanische Charakterisierung 33
2.7.3 Elektrische Charakterisierung 37
2.8 Elektrische und mechanische Charakterisierung der hergestellten 3D-MEMS Struktur 38
3 Ergebnisse 41
3.1 Ablauf des Herstellungsprozesses eines einzelnen EPyC-Zyklus mit unterschiedlich dicken Epi und ihre
Charakterisierung 41
3.1.1 Ablauf der Abscheidung eines einzelnen EPyC-Zyklus 44
3.1.2 Charakterisierung der abgeschiedenen Schichten 50
3.1.2.3.1 Epi-Schicht ( = μ) 61
3.1.3 DRIE-Prozess für dicke Epi-Schichten 64
3.1.4 Trench-Verfüllung 69
3.1.5 Siliziumopferschichttechnik 86
3.2 Herstellung eines Mikrospiegelantriebs mittels fünf EPyC Zyklen 105
3.2.1 Ablauf der Mikrospiegelantriebsherstellung mittels EPyC-Prozesses 106
3.2.2 Charakterisierung des hergestellten Mikrospiegelantriebs 115
4 Zusammenfassung
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
Eigene Veröffentlichungen
These
Am Küchentisch – Heimarbeit & Hausindustrie im Wandel der Zeit
Barbara Wiegand-Stempel beschreibt die Ausprägungsformen von Heimarbeit vom 17. bis zum 20 Jahrhundert vorrangig in und um Limbach-Oberfrohna
Bewegung, Spiel und Sport im Krippen- und Kindergartenalter: Forschung aus der Praxis für die Praxis
Eine Gruppe junger Sportwissenschaftler*innen und Sportstudent*innen bringt im Jahr 2005 zusammen mit einem Sportverein in Chemnitz ein Kindersportprogramm auf den Weg. Zu dieser Zeit sind die Medien bereits voller Schlagzeilen zu Bewegungsmangel und Fitnessdefiziten von Kindern. Das Ziel dieses Programms namens Kindersportschule ist, breitensportliche und sportartunspezifische Bewegungsangebote für möglichst viele junge Kinder in Chemnitz zu schaffen. 16 Jahre nach der erfolgreichen Implementierung dieses ursprünglich baden-württembergischen Sportvereinsmodells in Chemnitz, werden in diesem Sammelband praxiserprobte Ideen, Gestaltungsformen und einfach anwendbare Kurskonzepte für vielfältige Bewegungsstunden mit Babys und ihren Eltern sowie Krippen-, Kindergarten- und Vorschulkindern präsentiert. Sie sind für die praktische Anwendung konzipiert, basieren zugleich aber auf Erkenntnissen wissenschaftlicher Forschung. So gelangen auch spezifische Themen mit hoher Relevanz, wie z.B. Naturerleben, Vielfalt und Integration, Übergang Kindergarten-Schule, in den Fokus. Auf Grundlage eigener Studien in der Kindersportschule Chemnitz liefert der Sammelband Antworten auf spannende Fragen zu Bewegung, Spiel und Sport im Kinderalltag. Das Besondere an diesem Sammelband ist die Erfahrungsgrundlage der Autorenschaft: Aus der Verbindung von Forschung und Praxis sind Bewegungs- und Gestaltungsideen für all diejenigen entstanden, die in der Praxis mit Kindern bewegungsaktiv tätig sind.:I EINFÜHRUNG
II METHODIK, DIDAKTIK UND ORGANISATION IM KINDERSPORT
III BEWEGUNGSIDEEN FÜR KRIPPEN- UND KINDERGARTENKINDER
IV BEWEGEN UND SPIELEN IN DER NATUR
V KURSKONZEPTE FÜR KINDERGARTENKINDER
VI UMGANG MIT VIELFALT IM KINDERSPORT
VII BEWEGUNG IM ÜBERGANG VOM KINDERGARTEN ZUR SCHUL
Electromagnetic Pulse Welding Process and Material Parameter Identification for High Speed Processes
Electromagnetic welding is an innovative, high-speed technology to manufacture mixed material joints. In this dissertation, an experimental-numerical method is presented to identify robust process windows of aluminum-copper and aluminum-steel compounds. The microstructural characteristics of these joints were investigated in detail. Moreover, an evaluation of the joint quality is presented and different numerical models were introduced for the simulation of macroscopic and microscopic effects. To improve the accuracy of the simulations, the strain rate sensitivity of the materials must be considered. For this purpose a high-speed setup for the identification of relevant viscoplastic material parameters, comprising an inverse evaluation strategy, was developed
Graphene-Based Conductor Materials: Assessment of the Electrical Conductivity
In the application as conductor materials, metals such as copper or aluminum represent the state of the art. This applies for example to high-voltage lines, motor windings or the infrastructure in cities. However, metals, and especially copper, are expensive and heavy. Graphene-based conductor materials (GCMs) represent a cost-competitive and highly conductive alternative to metallic conductors. GCMs
are mechanically flexible, lightweight and corrosion-resistant. But in order to fully exploit the potential of their electrical conductivity, a systematic material optimization is required. In this thesis, the electrical conductivity of GCMs is investigated in simulations and experiments. Using a simplified model of a GCM, the theoretical maximum value of the conductivity is derived mathematically. Furthermore, the dependence of the conductivity on microscopic material parameters is quantified. For a deeper insight, finite element simulations are used to study more realistic as well as defective geometries. The meaningful modeling of physical parameters as statistical distributions requires structures with tens of thousands of graphene flakes. To this end, an efficient network model is designed and implemented. The network model is further used to compare results with the literature, to consider surface contacts
and to perform an exemplary material evaluation. From the simulation results, specific guidelines for the production of highly conductive GCMs are derived. In order to validate the simulations and to evaluate the potential of GCMs experimentally, a process chain for the preparation of graphene films is set up. Liquid graphene or graphene oxide dispersions are chosen as the starting materials, since large amounts of graphene can be processed in this way. The sizes of the graphene flakes are varied via centrifugation. Hydriodic acid is employed and evaluated as a reducing agent, as is thermal treatment. Scanning electron microscopy, Raman microscopy and an eddy current measurement of the conductivity are used for material characterization. Two studies on the dependence of the electrical conductivity on microscopic parameters are experimentally realized. The results show good agreement with the prediction by the network model and thus support the previously established theoretical description.In der Anwendung als Leitermaterialien werden nach dem Stand der Technik Metalle wie Kupfer oder Aluminium eingesetzt. Dies betrifft beispielsweise Hochspannungsleitungen,
Motorwicklungen oder die Infrastruktur in Städten. Insbesondere im Fall von Kupfer handelt es sich um ein teures und schweres Material.
Graphen-basierte Leitermaterialien (GCMs, engl. graphene-based conductor materials) stellen eine potentiell günstige und hoch leitfähige Alternative dar, die metallische
Leiter ersetzen kann. GCMs sind mechanisch flexibel, wesentlich leichter als Metalle und korrosionsbeständig. Um das Potential ihrer elektrischen Leitfähigkeit
voll auszuschöpfen bedarf es jedoch einer gezielten Materialoptimierung.
In der vorliegenden Arbeit wird die elektrische Leitfähigkeit von GCMs systematisch in Simulationen und Experimenten untersucht. Mit einem vereinfachten Modell
eines GCMs wird der theoretische Maximalwert der Leitfähigkeit mathematisch hergeleitet. Weiterhin wird die Abhängigkeit der Leitfähigkeit von mikroskopischen Materialparametern quantifiziert. In Finite Elemente Simulationen werden realistischere sowie defektbehaftete Geometrien betrachtet und die Erkenntnisse aus dem analytischen Modell erweitert. Die sinnvolle Modellierung von physikalischen Eingangsgrößen als statistische Verteilungen erfordert Strukturen mit mehreren Zehntausend Graphenplättchen. Zu diesem Zweck wird ein effizientes Netzwerkmodell konzeptioniert und implementiert. Mit dem Modell werden darüberhinaus Ergebnisse mit der Literatur verglichen, Oberflächenkontakte betrachtet und eine beispielhafte Materialbewertung durchgeführt. Weiterhin werden konkrete Richtlinien zur Herstellung von hochleitfähigen GCMs abgeleitet. Um die Simulationen zu validieren und das Potential von GCMs experimentell zu bewerten, wird eine Prozesskette zur Herstellung von Graphenfilmen aufgebaut. Dabei werden flüssige Graphen- oder Graphenoxiddispersionen als Ausgangsmaterial gewählt, da in dieser Art große Mengen Graphen verarbeitet werden können. Mittels Zentrifugierung werden die Größen der Graphenplättchen variiert. Iodwasserstoffsäure wird als Reduktionsmittel eingesetzt und bewertet, ebenso wie eine thermische Materialbehandlung. Zur Materialcharakterisierung werden Rasterelektronenmikroskopie, Raman-Mikroskopie und eine Wirbelstrommessung
der Leitfähigkeit eingesetzt. Zwei Studien zur Abhängigkeit der Leitfähigkeit von mikroskopischen Parametern werden experimentell realisiert. Die Ergebnisse zeigen gute Übereinstimmung zur
Vorhersage durch das Netzwerkmodell und untermauern so die zuvor beschriebenen Wirkzusammenhänge
Kennwertorientierte Methoden zur Auswahl und Synthese von Bewegungsgesetzen für Motion-Control-Systeme
Im Rahmen dieser Arbeit werden Methoden präsentiert, die Anwender bei der Auslegung von taktzeitoptimalen Bewegungen für typische Rast-in-Rast-Charakteristiken unter Verwendung von normierten Bewegungsgesetzen nach der VDI-Richtlinie 2143 unterstützen. Es wird eine Herangehensweise vorgestellt, die bei Vorgabe von kinematischen Bewegungsgrenzen zu verwenden ist. Führt dabei die resultierende Bewegung zu einer unzulässigen Erwärmung des Antriebs, lässt sich mit Hilfe anderer Werkzeuge die minimal mögliche und somit optimale Taktzeit effizient bestimmen.:1 Einleitung
2 Stand der Forschung
3 Grundlagen
4 Taktzeitoptimierung bei kinematischen Restriktionen
5 Taktzeitoptimierung bei thermischen Restriktionen
6 Anwendungsbeispiele
7 Zusammenfassung und AusblickThis paper presents methods to help users design motions with ideal cycle times for rest in rest applications by using the normalized laws of motion according to the VDI guideline 2143. The approach shown is used for systems that are limited by their kinematic parameters. If the resulting movement leads to inadmissible heating of the drive, other tools are able to determine the minimal cycle time considering the thermal limit.:1 Einleitung
2 Stand der Forschung
3 Grundlagen
4 Taktzeitoptimierung bei kinematischen Restriktionen
5 Taktzeitoptimierung bei thermischen Restriktionen
6 Anwendungsbeispiele
7 Zusammenfassung und Ausblic
3D-Modellierung des Partikeltransportes in Nanostrukturen zur Simulation von chemischen Schichtabscheidungen
Für die Herstellung von immer kleiner werdenden elektronischen Bauteilen ist es notwendig, Schichten verschiedener Stoffe auf einem Substrat abzuscheiden.
Dazu werden häufig Verfahren verwendet, bei denen Gase in kleine Strukturen eindringen und dort an der Oberfläche reagieren. Damit können Schichten abgeschieden werden.
Bei der Gasströmung in mikroskopischen Strukturen auf einem Wafer zeigt sich ein anderes Strömungsverhalten als bei einer Gasströmung in einer makroskopischen Struktur bei Normaldruck.
Dabei sind Kollisionen zwischen Gasteilchen oft vernachlässigbar, und die Kollisionen von Teilchen mit der Geometrie, in der sich das Gas befindet, überwiegen. Zur Untersuchung solcher Vorgänge ist es von Interesse, eine derartige Gasströmung und die entsprechenden Schichtabscheidungen simulieren zu können.
In dieser Arbeit wurde ein Simulationsverfahren entwickelt, welches Gase im Bereich der freien Molekülströmung und deren chemische und physikalische Interaktionen an Oberflächen simulieren kann.
Die Simulationen sind dabei speziell für die freie Molekülströmung optimiert und ist nicht auf viele Aspekte angewiesen, die in anderen Strömungsregimen notwendig sind.
Dies geschieht mittels einer Monte-Carlo-Simulation von Teilchen, welche mittels Pfadverfolgung in einer beliebigen dreidimensionalen Geometrie simuliert werden können.
Dabei kann eine große Menge an verschiedenen Wechselwirkungen von Teilchen mit den Wänden der Geometrie simuliert werden.
Es erfolgten Vergleiche mit bekannten Literaturwerten, wie der Durchlasswahrscheinlichkeit eines Zylinders oder einem einzelnen ALD Schritt in einem zylinderförmigen Loch bei verschiedenen Adsorptionswahrscheinlichkeiten. Das verwendete Simulationsverfahren erlaubt eine einfache Erweiterung von Wechselwirkungen, welche an Oberflächen auftreten können. So wurde auch ein PVD Verfahren und der Einfluss eines Kollimators auf die Teilchenströmung untersucht.:Inhaltsverzeichnis
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
Abkürzungsverzeichnis
Symbolverzeichnis
1 Motivation und Einführung
2 Grundlagen
2.1 Knudsenzahl
2.1.1 Strömungsregime
2.1.2 Mittlere freie Weglänge bei verschiedenen Teilchenarten
2.2 Schichtabscheidungen
2.2.1 Chemische Gasphasenabscheidung
2.2.2 Atomlagenabscheidung
2.2.3 Physikalische Gasphasenabscheidung
2.3 Chemische Reaktionen an Oberflächen
2.3.1 Adsorption an einer freien Oberfläche
2.4 Simulationsansätze
2.4.1 Direct Simulation Monte Carlo
2.4.2 Angular Coefficient Method
2.4.3 Pfadverfolgung von Teilchen
2.4.4 Finite Volumen Methoden
3 Modellentwicklung
3.1 Grundidee
3.2 Interaktionen an Wänden
3.2.1 Reflexion und Reemission von Teilchen
3.2.2 Chemische Reaktionen
3.2.3 Tabellierte Oberflächeninteraktionen
3.3 Erweiterung für Bereiche geringerer Knudsenzahlen
3.4 Implementation
3.4.1 Wandkollisionen
3.4.2 Raytracing und Unterteilung der Geometrie
3.4.3 Simulationsdefinition
3.4.4 Simulationen in 2D
4 Simulationen und Ergebnisse
4.1 Durchlasswahrscheinlichkeit eines Hohlzylinders
4.2 Durchlasswahrscheinlichkeit durch ein gekrümmtes Rohr in 2D
4.3 ALD in einem zylinderförmigen Loch
4.4 Gleichgewicht zwischen Adsorption und Desorption an einer Oberfläche
4.5 Sputterabscheidung von Kupfer in einem PVD-Reaktor
4.5.1 Simulationen in einem Vakuum
4.5.2 Simulation bei Verwendung eines Hintergrundgases
5 Zusammenfassung und Ausblick
5.1 Zusammenfassung
5.2 Ausblick
Literaturverzeichnis
Danksagung
Selbstständigkeitserklärun
Bedarfsermittlung in der Weiterbildung frühpädagogischer Fachkräfte: Eine explorative Studie bei einem Kita-Träger
Ein gleichermaßen schwieriges wie erfolgsrelevantes Kapitel im Weiterbildungsmanagement ist die Bedarfsanalyse. Hat man sich lange Zeit auf einen Vergleich von strukturellen Gegebenheiten begrenzt, der allenfalls in sich um eine statisch-komparative Variante ergänzt wird (Feststellung von Qualifikationsdefiziten vs. Bestimmung von Planbedarf; Bank 1997), bringt Faulstich 2003 die Idee einer dynamischen bzw. gruppendynamischen Erhebung des betrieblichen Lernbedarfs ein. Somit kann ein Lern- oder Bildungsbedarf auch im Rahmen eines progressiv angelegten sozialen Aushandlungsprozesses der Betroffenen erhoben werden. Zugleich ist der Bedarf auf verschiedenen Ebenen bestimmbar, und damit nicht nur ein Problem eines individuellen Handlungsdefizits, sondern auch ein Problem auf der Abteilungs-, der Betriebs- oder der Unternehmensebene. Diese Herangehensweise wurde im Rahmen einer explorativen Studie bei frühpädagogischen Fachkräften, deren Leitungs- und Beratungskräften umgesetzt, deren Ergebnisse in diesem Berichtsheft vorgestellt werden.:1 Die Bestimmung des Weiterbildungsbedarfs – ganz ohne Gießkanne? 3
2 Theoretischer Bezugsrahmen 5
2.1 Zum unterlegten Weiterbildungsbegriff 5
2.2 Bedarf und Bedürfnis in der Weiterbildung 7
2.3 Bedarfsermittlung der Weiterbildung 8
2.3.1 Bedarfsanalysen – notwendig, wenig praktikabel, problembehaftet 8
2.3.2 Methoden der Bedarfsermittlung 11
3 Forschungsstand 12
3.1 Bedeutung von Weiterbildung im Aufgabenfeld frühpädagogischer Fachkräfte 12
3.2 Weiterbildungsbedarf frühpädagogischer Fachkräfte 13
4 Fragestellung und Relevanz 16
5 Untersuchungsdesign 18
5.1 Stichprobe und Untersuchungsablauf 18
5.2 Datenerhebung 19
5.2.1 Theoretisch-methodische Grundlagen des Gruppendiskussionsverfahrens 19
5.2.2 Forschungspraktische Anwendung 20
5.3 Datenauswertung 22
6 Forschungsergebnisse 23
6.1 Bedarfsverständnis in der Kita-Praxis 24
6.1.1 Gruppe 1: „Ist der Bedarf, den ich für mich erkenne, auch der Bedarf, den sich jemand anderes für mich vorstellt“ 24
6.1.2 Gruppe 2: „Das war immer mein Vorurteil, Bedarf muss immer etwas fehlen, etwas zu kompensieren oder was aufstocken oder so …“ 25
6.1.3 Gruppe 3: „‚Das geht schon seit ‘nem halben Jahr so.‘ Das heißt definitiv, dass da Weiterbildungsbedarf ist im Team.“ 26
6.1.4 Ergebniszusammenfassung 27
6.2 Weiterbildungsthemen in der Kita-Praxis 28
6.2.1 Gruppe 1: „Die stehen dann vor einer Eingewöhnung und denken ‚Mist, wie fange ich das jetzt an?‘.“ 28
6.2.2 Gruppe 2: „Tatsächlich […] ist mir als erstes in den Kopf gekommen: Thema Stress, Thema Belastung im Job.“ 29
6.2.3 Gruppe 3: „Also für mich wäre z. B. auch, auch wenn es ein trockenes Thema ist, Datenschutz.“ 30
6.2.4 Ergebniszusammenfassung 31
6.3 Methoden der Bedarfsermittlung in der Kita-Praxis 33
6.3.1 Gruppe 1: „Und jeder muss für sich erst mal den Bedarf herausfinden.“ 33
6.3.2 Gruppe 2: „Vielleicht nicht mal als Leitung das sagen, sondern den so ansprechen, dass er von selbst draufkommt, dass er das braucht.“ [Abs. 167, L2] 34
6.3.3 Gruppe 3: „Und das sagt dann die Leiterin und der Mitarbeiter und dann kommt man da so übereinander.“ 35
6.3.4 Ergebniszusammenfassung 36
6.4 Die Akteure der Bedarfsermittlung in der Kita-Praxis 36
6.4.1 Gruppe 1: „Wer stellt den [Bedarf] denn fest?“ „Der Chef. Also ich.“ 37
6.4.2 Gruppe 2: „Aber das ist dann vielleicht auch Aufgabe der Leitung, oder? Dass die Leitung dann ein bisschen lenkt.“ 37
6.4.3 Gruppe 3: „Also die Kompetenz der Leitung ist für mich gefragt“ 38
6.4.4 Ergebniszusammenfassung 38
7 Einordnung der Ergebnisse und Ausblick 39
8 Literaturverzeichnis 4