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Détermination de la composition de films minces au-dela de la résolution latérale du SIMS
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De l'interet des spectroscopies électroniques pour le développement de nouveaux matériaux en microélectronique
No full textNano-scale feature analysis: Achieving high effective lateral resolution with micro-scale material characterization techniques: application to back-end processing
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New possibilities for advanced semiconductor structure analysis by combining SIMS with SPM and high performance mass spectrometry
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